[发明专利]一种氟代苯乙烯单体、含氟共聚物及在248nm深紫外光刻胶中的应用

权利要求书

1.一种含氟代苯乙烯单元结构的共聚物，其特征在于可以是三元共聚物或者四元共聚物，分子结构如下所示：

2.根据权利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R1为羟基或乙酰氧基。

3.根据权利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R2-R6为H或F，且R2-R6不能同时为H。

4.根据权利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于R7为H或-CH₃，R8为酸敏结构，可以是叔丁基、叔戊基、1-甲基环戊基、1-乙基环戊基、1-甲基环己基、1-乙基环己基、甲基异冰片基中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的四元共聚物，其特征在于R9为H或-CH₃，R10是各种多脂肪环类取代基结构，如：

A：金刚烷类

具体对应单体可以是1-金刚烷基甲基丙烯酸酯、1-金刚烷基丙烯酸酯、丙烯酸金刚烷甲醇酯、甲基丙烯酸金刚烷甲醇酯、2-甲基2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、2-甲基2-金刚烷基丙烯酸酯、2-乙基2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、2-乙基2-金刚烷基丙烯酸酯、2-异丙基2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、2-异丙基2-金刚烷基丙烯酸酯、3-羟基-1-金刚烷基丙烯酸酯、3-羟基-1-金刚烷基甲基丙烯酸酯中的任意一种；

B：降冰片类取代基

具体对应甲基丙烯酸5-(2-羧酸叔丁酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸叔丁酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸甲基环己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸甲基环己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-甲基环己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-甲基环己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基环戊酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基环戊酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-甲酰1-乙基环戊酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-甲酰1-乙基环戊酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基环己酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸1-乙基环己酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸2-丁内酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸2-丁内酯基)降冰片酯、甲基丙烯酸5-(2-羧酸2-己内酯基)降冰片酯、丙烯酸5-(2-羧酸2-己内酯基)降冰片酯中的任意一种；

C：倍半萜醇类取代基

具体对应柏木醇、广藿香醇、环桉醇、苍蒲醇、桉叶醇、宽叶甘松醇、喇叭茶醇、桧脑、愈创木醇、雪松醇中的任意一种。

6.根据权利要求1所述的三元和四元共聚物，其特征在于，包括以下制备步骤：

(1)在装有搅拌器、冷凝管和温度计的四口烧瓶中，加入反应单体，引发剂，溶剂。单体溶液在N2保护作用下，加热至50-70℃反应20-24个小时。

(2)将温度调到70-80℃，向上述体系中加入2％-7％的甲醇钠和甲醇溶液，继续反应，并且每隔一个小时，补加一次甲醇，5-8个小时后，停止反应。

(3)将树脂滴加到去离子水中，得到白色沉淀物，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到白色共聚物粉末。用甲醇或者丙酮溶解共聚物，并将共聚物溶液滴加到去离子水中，得到白色沉淀，抽滤后置于65℃真空烘箱中烘干得到纯化的白色共聚物粉末。

7.根据权利要求1所述的三元或者四元共聚物，其特征在于将共聚物(10-30份)、光致产酸剂(0.2-1份)、碱性添加剂(0.01-0.2份))、流平剂(0.01-0.15份)混合，用溶剂制备成固含10％-25％的248nm深紫外光刻胶。