[发明专利]曝光装置及照明光学装置

权利要求书

1.一种曝光装置，使形成于光罩的外周面上的反射性的光罩图案在感应性衬底上曝光，所述光罩是围绕规定的中心线弯曲成圆柱状或圆筒状而成的，所述曝光装置的特征在于，包括：

照明光学系统，使来自光源的照明光朝着照明区域照射，并且以使得在所述外周面的周向上分布的所述照明光的主光线的延长线在所述外周面与所述中心线之间的规定位置处交叉的方式关于所述外周面的周向倾斜，其中，所述照明区域设定于所述外周面的一部分；和

投影光学系统，其被射入在所述照明区域产生的来自所述光罩图案的反射光束，将所述光罩图案的像投影于所述感应性衬底，

包括光分离部，该光分离部为了对所述照明区域进行落射照明而配置在所述投影光学系统的光路内，并使朝向所述照明区域的所述照明光和从所述照明区域产生的反射光中的一方通过且使另一方反射，

所述投影光学系统通过使来自所述照明区域的所述反射光入射并经由所述光分离部而朝向所述感应性衬底投射，由此将所述光罩图案的像投影到所述感应性衬底上。

2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述光分离部包括使朝向所述照明区域的所述照明光通过的通过部、和使从所述照明区域产生的反射光束反射的反射部，

所述投影光学系统包括配置在所述光分离部与所述照明区域之间的光路中的光学系统，

所述光分离部的反射部的至少一部分配置在关于所述光学系统的光轴与所述光分离部的交点而与所述通过部对称的位置处。

3.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，

所述光分离部由偏振分光器构成，该偏振分光器通过偏振而使所述照明光的光路和所述反射光的光路分离。

4.如权利要求1～3中任一项所述的曝光装置，其特征在于，

所述规定位置设定在所述中心线与所述外周面之间的中央位置或该中央位置附近。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，

从所述光罩的外周面到所述规定位置的距离被设定为从所述中心线到所述外周面的半径的约二分之一。

6.如权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，

所述照明光学系统具有第1光阑部件，该第1光阑部件配置在形成作为所述照明光的光源的一次光源像的位置，所述第1光阑部件以使得在所述光罩的外周面的周向上照射所述照明区域的所述照明光的扩散角小于沿着所述中心线的方向上照射所述照明区域的所述照明光的扩散角的方式设定所述一次光源像的形状。

7.如权利要求6所述的曝光装置，其特征在于，

所述照明光学系统包括：

第2光阑部件，该第2光阑部件配置在与所述照明区域光学共轭的位置或其附近；和

光学部件，该光学部件配置在从所述一次光源像到所述第2光阑部件的光路中，并且所述光学部件关于所述光罩的外周面的周向的折射力设定为比沿着所述中心线的方向的折射力大。

8.如权利要求6所述的曝光装置，其特征在于，

所述照明光学系统包括导光部件，所述导光部件的使光纤成束的光出射侧配置在所述第1光阑部件的位置。

9.如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，

使所述导光部件的光出射侧的形状形成为在所述光罩的外周面的周向上的长度比在沿着所述中心线的方向上的长度小的长圆状或椭圆状。