[发明专利]高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710456703.9 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107299374A | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 张敏;殷雪;李美仪;李小晶;王玉新 | 申请（专利权）人： | 辽宁师范大学 |
| 主分类号： | C25D11/26 | 分类号： | C25D11/26;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 大连非凡专利事务所21220 | 代理人： | 王廉 |
| 地址： | 116029 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透过 多孔 wo3 变色 薄膜 制备 方法 | ||
1.一种高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：所述的方法按照以下步骤进行：
a、将清洗好的衬底基片放入磁控溅射系统的真空室样品台上，采用纯度为99.99%的钨靶作为溅射靶材，将本底真空抽至10-3Pa以下，基片温度设定在室温至300℃，
b、向真空室通入惰性气体，调整工作气压，开启钨靶并设定其溅射功率，开始在基片上沉积金属W薄膜，通过控制溅射时间来控制薄膜厚度，
c、溅射结束后在基片上得到黑褐色的金属W薄膜，
d、在含有F-的电解质溶液中，对所制备的金属W薄膜进行阳极氧化处理，阳极是镀有W薄膜的基片，阴极为不锈钢片，在两极之间施加阳极氧化电压，
e、对阳极氧化后的样品进行空气退火处理，处理时间2小时，炉冷至室温，即得到多孔WO3薄膜。
2.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤b中所述的惰性气体为氩气。
3.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤b中所述的工作气压为0.1~2.5Pa。
4.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤b中所述所述的溅射功率为15~50W。
5.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤b中所述薄膜厚度为200~800nm。
6.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤d中所述的含有F-的电解质溶液为NH4F在乙二醇和水中的混合溶液，其中NH4F、乙二醇和水的质量体积比为2～8g比300～600ml比7～13ml。
7.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤d中所述的含有F-的电解质溶液为NaF在乙二醇和水中的混合溶液，其中NaF、乙二醇和水的质量体积比为2～8g比300～600ml比7～13ml。
8.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤d中所述的阳极氧化电压为10~40V。
9.根据权利要求1所述的高透过率的多孔WO3电致变色薄膜的制备方法，其特征在于：步骤e中所述的空气退火处理的温度范围是300~500℃。
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