[发明专利]一种基于弹性组件的声音传感器

权利要求书

1.一种基于弹性组件的声音传感器，其特征在于，所述声音传感器包括：

基底；

形成于所述基底表面的横波发射元件；

形成于所述基底表面且与所述横波发射元件相对设置的横波探测元件，用于探测所述横波发射元件所发射的横波信号；

形成于所述横波探测元件表面的声音感测膜，用于感测外界的声音信号；

其中，所述横波发射元件根据所述外界的声音信号发射所述横波信号，以将所述外界的声音信号增大，产生声音增大信号。

2.根据权利要求1所述的声音传感器，其特征在于，所述声音传感器还包括：

形成在所述声音感测表面的弹性组件，用于吸收所述外界的声音信号，并缓冲外界的作用力。

3.根据权利要求2所述的声音传感器，其特征在于，所述弹性组件为网格式弹性组件。

4.根据权利要求3所述的声音传感器，其特征在于，所述网格式弹性组件包括：

第一微孔层，其具有多个第一微孔；

第二微孔层，其具有多个与所述第一微孔尺寸不同的第二微孔；和

设置在所述第一微孔层和所述第二微孔层之间的多层网格布结构。

5.根据权利要求4所述的声音传感器，其特征在于，所述多层网格布结构具有贯穿所述多层网格布结构的多个孔口；

其中，每一孔口与所述多个第一微孔相对应，并与所述第二微孔相对应。

6.根据权利要求5所述的声音传感器，其特征在于，所述多层网格布结构包括：

第一结构层，其上具有多个第一孔口，所述第一孔口沿着垂直于所述第一结构层的长度方向延伸，并与所述第一微孔相通；

第二结构层，其上具有多个第二孔口，所述第二孔口沿着垂直于所述第二结构层的长度方向延伸，并与所述第一孔口相通；

第三结构层，其上具有多个第三孔口，所述第三孔口沿着垂直于所述第三结构层的长度方向延伸，并与所述第二孔口和所述第二微孔相通。

7.根据权利要求6所述的声音传感器，其特征在于，所述第一孔口的尺寸与所述第一微孔一致；

其中，所述第三孔口的尺寸与所述第二微孔一致；

其中，所述第二孔口的直径大于所述第一微孔或所述第二微孔。

8.根据权利要求4-7中任一项所述的声音传感器，其特征在于，所述第一微孔的直径与所述第二微孔的直径一致。

9.根据权利要求8所述的声音传感器，其特征在于，所述第二孔口的直径大于所述第一微孔和所述第二微孔。

10.根据权利要求9所述的声音传感器，其特征在于，所述基底的材料为硅，采用湿法刻蚀工艺选择性刻蚀所述基底。