[发明专利]滚动轴承、旋转机械元件及固体膜形成方法

说明书

本发明提供一种滚动轴承、旋转机械元件及固体膜形成方法，在滚动轴承的轴承结构元件形成固体膜。使包含氟化物和不具有官能团的润滑剂的溶液作为第一液状膜附着于轴承结构元件(附着工序)。通过使附着的所述第一液状膜固化，而在所述轴承结构元件形成固体膜。使包含形成有固体膜的轴承结构元件在内的滚动轴承旋转。通过包含与在所述附着工序中使用的所述润滑剂相同的润滑剂的清洗液对该滚动轴承进行清洗，并且使该清洗液作为第二液状膜附着于轴承结构元件。并且，使附着的第二液状膜干燥。

在2016年6月10日提出的日本专利申请2016-116097的公开，包括其说明书、附图及摘要作为参照而全部包含于此。

技术领域

本发明涉及滚动轴承、旋转机械元件及固体膜形成方法。

背景技术

在无法使用润滑脂、润滑油的真空环境、腐蚀环境中使用滚动轴承的情况下，相对于内圈、外圈等轴承结构元件施加将固体润滑剂设为膜状的涂层。在该涂层中，以往，例如使用金、银、铅等软质金属、石墨、二硫化钼等层状结构物质。

在使使用固体润滑剂的涂层形成于滚动轴承的情况下，在轴承的旋转时，通过微量的固体润滑剂剥落而有助于润滑。在该情况下，来自滚动轴承的扬尘量与使用润滑脂、润滑油的情况相比较少，但在需要较高的洁净度的环境中，还是难以将其应用。因此，提出在轴承结构元件形成含氟聚氨酯高分子化合物的固体膜的滚动轴承(例如，参照日本特开平9-137830号公报)。

根据所述日本特开平9-137830号公报中记载的技术，在无法使用润滑脂、润滑油的真空环境、腐蚀环境及洁净环境中能够作为合适的滚动轴承。

发明内容

本发明的目的之一在于，提供能够减少扬尘和提高润滑性的滚动轴承、旋转机械元件及用于制造这样的滚动轴承、旋转机械元件的固体膜形成方法。

本发明的固体膜形成方法，是在滚动轴承的至少一个轴承结构元件上形成固体膜的方法，所述滚动轴承具备内圈、外圈及设置于所述内圈与所述外圈之间的多个滚动体作为所述轴承结构元件，所述方法包括：附着工序，使包含氟化物和不具有官能团的润滑剂的溶液作为第一液状膜附着于至少一个所述轴承结构元件；成膜工序，通过使附着的所述第一液状膜固化，而在至少一个所述轴承结构元件上形成固体膜；旋转工序，使包含形成有所述固体膜的所述轴承结构元件在内的滚动轴承旋转；清洗工序，通过包含与在所述附着工序中使用的所述润滑剂相同的润滑剂的清洗液对所述滚动轴承进行清洗，并且使该清洗液作为第二液状膜附着于所述轴承结构元件；及干燥工序，使附着的所述第二液状膜干燥。

附图说明

前述及后述的本发明的特征及优点通过下面的具体实施方式的说明并参照附图而明确，其中，相同的标号表示相同的部件。

图1是表示本发明的滚动轴承的一实施方式的剖视图。

图2是表示甲基丙烯酸3-(三甲氧基甲硅烷基)丙基丙烯酸酯的通式(化学式)的图。

图3是表示六氟丙烯的通式(化学式)的图。

图4是表示甲基丙烯酸甲酯的通式(化学式)的图。

图5是固体膜的说明图。

图6是用于进行扬尘试验的装置的说明图。

图7是表示试验条件的图。

图8是表示20小时的平均扬尘量(个/cf)的坐标图。

图9是表示超过相当于等级10的扬尘量的时间(即扬尘寿命)的坐标图。

图10是说明固体膜形成方法的流程图。

具体实施方式