[发明专利]待处理靶材的处理方法

说明书

本发明提供一种待处理靶材的处理方法，包括：提供待处理靶材；通过第一酸溶液对所述待处理靶材进行第一酸洗处理，形成初始靶材，所述第一酸溶液与所述待处理靶材发生第一化学反应，去除待处理靶材表面的部分材料；通过第二酸溶液对所述初始靶材进行第二酸洗处理，所述第二酸溶液与所述初始靶材发生第二化学反应，去除初始靶材表面的部分材料，所述第二化学反应的速率小于第一化学反应的速率。所述处理方法能够提高待处理靶材的回收率。

技术领域

本发明涉及半导体溅射靶材制造领域，尤其涉及一种待处理靶材的处理方法。

背景技术

靶材也叫做溅射靶材，它是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。溅射靶材一般对材料要求比较高，钛溅射靶材需要使用纯度达到4N(99.99％)以上的高纯钛为原材料才可以制成。

靶材被当做溅射源使用过之后，溅射蒸发的只是一小部分，大部分材料仍然在靶材基体上，这一部分材料为废旧理靶材，这些废旧靶材中原材料为钛金属的，称之为废旧钛靶材。

钛及其合金具有高比重强度和耐腐蚀强的优点，其产品广泛运用在航空、航天领域及造船、原子能工业中。在日常生活和消费品领域，钛及钛合金的应用也引起相当大的兴趣；但由于钛制品成本较高，其广泛应用受到了限制。提高废旧钛靶材的回收利用率能够有效降低钛制品的成本，增加钛制品的应用。

然而，现有技术对废旧靶材的回收率很低。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种待处理靶材的处理方法，能够提高待处理靶材的回收率。

为解决上述问题，本发明提供一种待处理靶材的处理方法，包括：提供待处理靶材；通过第一酸溶液对所述待处理靶材进行第一酸洗处理，形成初始靶材，所述第一酸溶液与所述待处理靶材表面材料发生第一化学反应，去除待处理靶材表面的部分材料；通过第二酸溶液对所述初始靶材进行第二酸洗处理，形成提纯靶材，所述第二酸溶液与所述初始靶材表面材料发生第二化学反应，去除初始靶材表面的部分材料，所述第二化学反应的速率小于第一化学反应的速率。

可选的，所述待处理靶材的材料为钛。

可选的，所述第一酸溶液包括HF。

可选的，所述第一酸溶液还包括HCl。

可选的，所述第一酸溶液中HCl的浓度为5％～7％，所述第一酸溶液中HCl与HF的质量比值为4.5～5.5。

如权利要求4所述的待处理靶材的处理方法，其特征在于，所述第一酸洗处理的时间为27min～33min。

可选的，所述第二酸溶液包括HF。

可选的，所述第二酸溶液还包括HNO₃。

可选的，所述第二酸溶液中HNO₃的浓度为25％～35％；所述第二酸溶液中HNO₃与HF的质量比值为4.5～5.5。

可选的，所述第二酸洗处理的时间为1.8h～2.2h；所述第二酸溶液的温度为45℃～50℃。

可选的，所述第一酸洗处理之前，还包括：通过酸性除油剂溶液对所述待处理靶材进行去污处理。

可选的，所述酸性除油剂溶液中酸性除油剂的浓度为10％～20％。

可选的，所述酸性除油剂溶液与所述待处理靶材的体积比值为1.8～2.2。