[发明专利]一种基于单光电探测器的颗粒粒度测量仪

权利要求书

1.一种基于单光电探测器的颗粒粒度测量仪，包括数字微镜阵列及控制电路、傅立叶透镜、会聚透镜、单光电探测器，其特征在于，被测颗粒、傅立叶透镜、数字微镜阵列放置于前向散射光路上，傅立叶透镜位于被测颗粒和数字微镜阵列之间，数字微镜阵列位于傅立叶透镜的焦点处，会聚透镜、单光电探测器放置于数字微镜阵列的反射光路上，会聚透镜位于数字微镜阵列和单光电探测器之间，平行光照射被测颗粒发生衍射，衍射光经过傅立叶透镜会聚在数字微镜阵列上，数字微镜阵列通过控制电路控制，反射部分光，部分光通过会聚透镜汇聚到单光电探测器上，数字微镜阵列的微镜片逐个偏转到反射状态，单光电探测器收集反射光，确定反射光光强最大的位置为衍射光斑中心，从衍射光斑中心开始，以条形排布偏转数字微镜阵列的微镜片到反射状态，单光电探测器采集对应位置的反射光强，得到一个列向量，即衍射光强的投影光强，利用阿贝尔逆变换处理投影光强得到衍射光强，利用积分反演处理衍射光强得到颗粒粒径分布。