[发明专利]一种减小激光束相干性的装置

权利要求书

1.一种用于减小激光束相干性的系统，所述系统包括：

第一装置和第二装置，所述第一装置和所述第二装置的每一个包括：

呈矩形的腔，所述腔包括：

第一壁、第二壁和第三壁，每个壁包括反射内表面；以及

包括分束器的第四壁；

第四壁配置为将至少一部分激光束透射到腔中以形成入射在第一壁上的输入激光束；

第一壁配置为将输入激光束反射到第二壁上；

第二壁配置为将输入激光束反射到第三壁上；

并且第三壁配置为将输入激光束反射到第四壁上；

第四壁还配置为反射输入激光束的第一部分以形成入射在第一壁上的进一步的输入激光束，并将输入激光束的第二部分透射出腔外以形成输出激光束；并且

所述腔限定了从第四壁延伸到第一壁、到第二壁、到第三壁并返回到第四壁的光路；所述光路是一个闭环，所述光路的长度大于或等于激光束的相干长度；以及

呈矩形的进一步的腔，所述进一步的腔包括：

进一步的第一壁、进一步的第二壁和进一步的第三壁，每个壁包括相应的反射内表面；以及

包括相应分束器的进一步的第四壁；以及

中间壁，所述中间壁包括相应的反射表面，所述中间壁设置在所述腔和所述进一步的腔之间；

所述第四壁和所述进一步的第四壁彼此相对；并且

所述中间壁设置于所述第一壁和所述进一步的第三壁的公共平面上，所述中间壁配置为将输出激光束反射到所述进一步的第四壁的外表面上；

其中所述进一步的腔配置为接收输出激光束作为输入，并且产生进一步的输出激光束作为输出；

其中所述第一装置和所述第二装置相对于彼此被定向以使得：

所述第二装置的所述中间壁被设置为与所述第一装置的所述中间壁基本平行，所述第一装置的所述中间壁的相应反射表面朝向所述第二装置的所述中间壁的相应反射表面；并且

所述第一装置的所述进一步的腔定向为引导所述第一装置的所述进一步的腔输出的所述进一步的输出激光束入射到所述第二装置的所述进一步的第四壁上作为所述第二装置中的相应输入；以及

其中所述第二装置配置为接收来自所述第一装置的所述进一步的输出激光束作为相应输入并且产生附加输出激光束作为相应输出。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一装置的所述腔的所述第四壁、所述第一装置的所述进一步的腔的所述第四壁、所述第二装置的所述腔的所述第四壁和所述第二装置的所述进一步的腔的所述第四壁中的至少一个包括50/50分束器。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一装置的所述腔、所述第一装置的所述进一步的腔、所述第二装置的所述腔和所述第二装置的所述进一步的腔中的至少一个是方形的。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，对于所述第一装置和所述第二装置中的每一个，所述各自的进一步的输入激光束与所述各自的输入激光束基本重合。

5.根据权利要求1所述的系统，进一步包括设置在所述光路中的一个或多个聚焦透镜。

6.根据权利要求1所述的系统，其中，由所述第一装置和所述第二装置的所述各自的腔限定的所述光路的长度中的至少一个与由所述第一装置和所述第二装置的所述各自的进一步的腔限定的进一步的光路的进一步的长度不同。