[发明专利]真空阀及使用该真空阀的真空压力控制系统

权利要求书

1.一种真空阀(2、2A)，具有：

阀体(10)，其具有阀座(14)；

阀芯(15)，其与所述阀座(14)抵接或分离；

气缸(20)，其与所述阀体(10)连结，并对操作流体进行给排气；

活塞(25)，其被收纳在所述气缸(20)内并设有凹槽(26)，所述凹槽(26)以向所述气缸(20)的内周面(24)侧开口的方式而被设为环状；

垫片(27，27A)，其被形成为环状并安装在所述凹槽(26)中；

杆部(30)，其对所述活塞(25)与所述阀芯(15)进行连结，

所述真空阀(2、2A)被配置在真空容器(8)与真空泵(9)之间，并通过使所述气缸(20)被供给排出所述操作流体而对作用于所述活塞(25)的操作压力进行控制，从而对作为所述阀芯(15)与所述阀座(14)之间的距离的阀开度进行调节，

所述真空阀(2、2A)的特征在于，

所述垫片(27、27A)具有：

接触部(271、271X)，其被设置于径向内侧；

滑动接触部(272、272X)，其被设置于所述接触部(271、271X)的径向外侧，

所述滑动接触部(272、272X)以在所述活塞(25)开始向事先移动方向相反的方向移动时相对于所述接触部(271、271X)而挠曲变形的方式与所述接触部(271，271X)连接的部分的所述垫片(27、27A)的轴线方向上的壁厚，薄于所述接触部(271、271X)的所述活塞(25)的轴线方向上的壁厚。

2.如权利要求1所述的真空阀(2A)，其特征在于，

所述真空阀(2A)具有：

压缩弹簧(33)，其将所述活塞(25)向阀座方向施力；

操作室(23a)，其被设置在所述活塞(33)的阀座侧，并被供给排出所述操作流体，

所述垫片在所述滑动接触部(272X)处具有所述轴线方向上的第1壁厚(W11)，在所述接触部(271X)处具有所述轴线方向上的第2壁厚(W31)，所述第1壁厚与所述第2壁厚相同，

所述第2壁厚比所述凹槽的所述轴线方向上的槽宽(W2)小。

3.如权利要求1或2所述的真空阀(2，2A)，其特征在于，

所述接触部(271、271X)具有与所述凹槽(26)的底面(26c)接触的内周部、以及在所述垫片的所述轴线方向上所述内周部的两侧的切口槽(271b)。

4.如权利要求1或2所述的真空阀(2、2A)，其特征在于，

所述阀芯(15)以从位于阀座侧的端面突出的方式而安装有弹性密封部件(18)，

在所述垫片(27、27A)中，所述滑动接触部(272、272X)在所述凹槽(26)的内部沿所述轴线方向进行变形的最大变形量为如下距离以上，所述距离为，所述活塞(25)使所述弹性密封部件(18)密封所述阀座(14)的闭阀位置与所述活塞(25)使所述弹性密封部件(18)从所述阀座(15)离开的位置之间的距离。

5.如权利要求3所述的真空阀(2、2A)，其特征在于，

所述阀芯(15)以从位于阀座侧的端面突出的方式而安装有弹性密封部件(18)，

在所述垫片(27、27A)中，所述滑动接触部(272，272X)在所述凹槽(26)的内部沿所述轴线方向进行变形的最大变形量为下述距离以上，所述距离为，所述活塞(25)使所述弹性密封部件(18)密封所述阀座(14)的闭阀位置与所述活塞(25)使所述弹性密封部件(18)从所述阀座(15)离开的位置之间的距离。