[发明专利]阀、流体控制装置

说明书

本发明提供一种阀及流体控制装置。阀(101)具有下阀壳体(192)、隔膜(120)和上阀壳体(191)。在下阀壳体(192)的底面粘接有压电泵(10)的上表面。在隔膜(120)的与下阀壳体(192)的突出部(138)相对的区域的中心部设有圆形的孔部(121)。隔膜(120)粘接在上阀壳体(191)及下阀壳体(192)上，并对阀壳体(130)内进行分割，从而构成第1下阀室(131)、第2下阀室(132)、第1上阀室(133)和第2上阀室(134)。在第1上阀室(133)中与隔膜(120)相对的上阀壳体(191)的壁部(190)内设有槽(140)。

本申请是发明名称为“阀、流体控制装置”、国际申请日为2013年2月27日、申请号为201380020898.2(国际申请号为PCT/JP2013/055068)的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及防止流体回流的阀、以及具备该阀的流体控制装置。

背景技术

在专利文献1中公开了一种具备阀的隔膜泵。

图14是专利文献1所涉及的隔膜泵90的分解立体图。图15是图14所示的隔膜泵90的主要部分的剖视图。

隔膜泵90由设有排气通路901及进气通路902的壳体900、用于在与壳体900之间设置泵室的隔膜910构成。壳体900由上部壳体930、下部壳体940、隔膜(膜片)920构成。

在下部壳体940设有：将空气从壳体900外部吸入到泵室内的进气通路用槽部942；将空气从泵室排出到壳体900外部的排气通路用槽部941；近似圆筒状的凹部945；近似圆筒状的凹部946；位于凹部946中央的圆筒状的底座947；突出部944；以及突出部943。

在上部壳体903设有：排气通路901；进气通路902；与凹部945相对的凹部935；与凹部946相对的凹部936；位于凹部935中央的圆筒状的底座937；与突出部944接合的突出部934；以及与突出部943接合的突出部933。在上部壳体930的上表面中位于排气通路901及进气通路902外侧的外周边缘部通过粘接剂接合有隔膜910。

在隔膜920上设有面对底座947的孔部921A、以及面对底座937的孔部921B。

上部壳体930与下部壳体940使用粘接剂隔着隔膜920相接合。因此，在上部壳体930与下部壳体940之间夹着隔膜920。

如图15所示，由凹部936、946、底座947、隔膜920的孔部921A及孔部921A的周围构成进气阀。进气阀允许流体从进气通路用槽部942一侧向隔膜910一侧流动，并阻断流体从隔膜910一侧向进气通路用槽部942一侧流动。

此外，由凹部935、945、底座937、隔膜920的孔部921B及孔部921B的周围构成排气阀。排气阀允许流体从隔膜910一侧向排气通路用槽部941一侧流动，并阻断流体从排气通路用槽部941一侧向隔膜910一侧流动。

具有以上结构的隔膜泵90通过使隔膜910弯曲来进行驱动。

若隔膜泵90进行驱动，则隔膜920的孔部921A周围离开底座947，隔膜920的孔部921B周围离开底座937。由此，所述排气阀及进气阀分别开启，空气从进气通路用槽部942流入，并从排气通路用槽部941排出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2002－106469号公报

发明内容

发明所要解决的问题