[发明专利]相变存储器在审
申请号: | 201710378936.1 | 申请日: | 2017-05-25 |
公开(公告)号: | CN108933195A | 公开(公告)日: | 2018-12-04 |
发明(设计)人: | 侯纪伟;袁之泉;刘锴;柳鹏;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热层 相变存储器 一一对应设置 二氧化钒 加热 | ||
1.一种相变存储器,其包括:至少一加热层及至少一相变层,该相变层与所述加热层一一对应设置,该加热层用于加热所述相变层,使该相变层达到相变温度,所述相变层的材料包括二氧化钒。
2.如权利要求1所述的相变存储器,其特征在于,当所述加热层为多个时,进一步包括多个第一行电极,该多个第一行电极相互平行且间隔设置;多个第一列电极,该多个第一列电极相互平行且间隔设置,所述多个第一列电极与多个第一行电极相互交叉且绝缘设置,相邻的两个第一行电极与相邻的两个第一列电极形成一第一网格;每个第一网格内对应设置一加热层,该加热层相对的两端分别与所述第一行电极、第一列电极电连接。
3.如权利要求2所述的相变存储器,其特征在于,所述加热层为一碳纳米管结构。
4.如权利要求3所述的相变存储器,其特征在于,所述碳纳米管结构包括碳纳米管膜、碳纳米管线或碳纳米管膜与碳纳米管线的组合。
5.如权利要求4所述的相变存储器,其特征在于,所述碳纳米管膜包括碳纳米管拉膜、碳纳米管碾压膜或碳纳米管絮化膜。
6.如权利要求1所述的相变存储器,其特征在于,所述相变层的材料由二氧化钒掺杂金属构成。
7.如权利要求1所述的相变存储器,其特征在于,所述掺杂金属为钨、铌、铝、铬中的任意一种。
8.如权利要求2所述的相变存储器,其特征在于,当所述相变层为多个时,进一步包括多个第二行电极,该多个第二行电极相互平行且间隔设置;多个第二列电极,该多个第二列电极相互平行且间隔设置,所述多个第二列电极与多个第二行电极相互交叉且绝缘设置,相邻的两个第二行电极与相邻的两个第二列电极形成一第二网格;所述多个相变层分别一一设置于所述第二网格,每个相变层分别与所述第二行电极和第二列电极电连接。
9.如权利要求1所述的相变存储器,其特征在于,向所述相变层输入多次电信号时,该相变层的总电阻值发生多次变化,每个电阻值对应一个数据,从而写入多个数据。
10.如权利要求1所述的相变存储器,其特征在于,所述加热层停止加热所述相变层时,该相变层的数据被擦除。
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