[发明专利]一种简单的膜厚可调控的黑磷薄膜制备方法

权利要求书

1.一种膜厚可调控的黑磷薄膜制备方法，其特征是采用超声辅助液相剥离的方法，先于异丙醇溶液中制备出黑磷量子点溶液，其中黑磷量子点尺寸为5-50nm；利用电泳法，阴极连接硅片，阳极连接石墨片电极；通过控制电泳电压，电泳时间，以及控制反应液浓度控制黑磷薄膜的生长，其中电泳电压为110V，电泳时间为1-15min，膜厚范围从9nm到3µm。

2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将玻璃容器进行酒精和超纯水依次超声清洗；用天平称量10mg黑磷粉末以及1mgMg(NO₃)₂，用量筒量取100mL异丙醇液体；将固体与异丙醇的混合溶液置于超声机中，超声2-3小时，制备得到黑磷量子点溶液；

2)硅片基底一侧用聚氯乙烯材质的胶带覆盖绝缘层，用以形成鲜明的薄膜边沿，便于精确测量其厚度；

3)将1cm*2cm的硅片基底夹持于电泳仪阴极，将相同尺寸的石墨电极片夹持于电泳仪阳极；设置电泳仪电压，电泳时间，待反应结束，取出硅片基底，让表面的异丙醇自然挥发，制备得到硅片基底的黑磷薄膜。

3.按照权利要求2所述的方法，其特征为胶带规格选用为SPV-224S。

4.按照权利要求2所述的方法，其特征为溶液搅拌设备选用磁力搅拌器。

5.按照权利要求2所述的方法，其特征为超声时间2小时。