[发明专利]通量可调控的微流控集成器件及其制作方法

权利要求书

1.通量可调控的微流控集成器件，包括分流模块（4）、至少两层功能模块和一个底层集流模块（3），其特征在于：所述功能模块包括功能模块上板（1）和功能模块下板（2），所述功能模块上板（1）堆垛在功能模块下板（2）上方，各层功能模块按上下顺序堆垛，最下部的功能模块的底层堆垛一层底层集流模块（3），所述分流模块（4）包括一个分流模块样品入口（19）和两个分流模块样品出口（20），所述两个分流模块样品出口（20）分别连接对应功能模块的功能模块样品入口（5），所述分流模块（4）在功能模块一侧从侧面接入功能模块，每层功能模块设有功能模块样品入口（5）、主浓缩流道、4个目标液出口和4个废液出口，所述主浓缩流道在对应功能模块内，所述功能模块样品入口（5）在对应功能模块一侧，所述4个目标液出口和4个废液出口在对应功能模块下方，所述主浓缩流道包括一个分流流道（6）和四个螺旋流道（7），所述分流流道（6）分成四股等流量流体分别与四个螺旋流道（7）连通，所述功能模块样品入口（5）和分流流道（6）连通，所述分岔流道（8）的端部分别与目标液出口、废液出口连通，每层功能模块的4个目标液出口和4个废液出口分别与下一层功能模块的4个目标液入口和4个废液入口堆叠键合，所述底层集流模块（3）下方有总目标液出口（23）和总废液出口（24），最下层功能模块的4个目标液入口经过底层集流模块（3）的管道后接总目标液出口（23），最下层功能模块的4个废液入口经过底层集流模块（3）的管道后接总废液出口（24）。

2.根据权利要求1所述的通量可调控的微流控集成器件，其特征在于：所述螺旋流道（7）的横截面为低深宽比矩形。

3.根据权利要求1所述的通量可调控的微流控集成器件，其特征在于：所述每层分选基片的螺旋流道的横截面尺寸和该层最大粒子的尺寸关系为a_p/L_c≥0.07，其中a_p为该层最大粒子的直径；L_c为螺旋流道的特征尺寸。

4.根据权利要求1所述的通量可调控的微流控集成器件，其特征在于：所述每层功能模块上端面有12*12个凸起圆柱，下端面有12*12个圆柱孔，各层之间通过凸起圆柱和圆柱孔进行键。

5.根据权利要求1所述的通量可调控的微流控集成器件，其特征在于：所述功能模块上板（1）和功能模块下板（2）之间通过定位孔（11）和定位销（15）进行定位，通过卡扣方式进行紧密连接。

6.根据权利要求1所述的通量可调控的微流控集成器件，其特征在于：所述分流模块（4）、功能模块、底层集流模块材质（3）为半透明树脂。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的通量可调控的微流控集成器件的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）对每层功能模块的模块上板的各个微流道通过微加工技术制作；

（2）通过卡口固定和键合技术实现每层功能模块上下板的堆垛和封装；

（3）通过键合技术实现每层功能模块之间的堆垛和封装；

（4）最下层功能模块的目标液出口和废液出口与底层集流模块的目标液入口和废液入口相键合；

（5）将分流模块和封装后的多层功能模块键合封装。