[发明专利]垂直探针卡

说明书

本发明实施例提供一种垂直探针卡，包括：PCB板、盖板及探针，PCB板上设有底孔及PCB焊盘，盖板上设有盖孔，盖板设置在PCB板上，且盖孔与底孔同轴对应设置，探针容置盖孔与底孔内，其中探针包括探头，探头伸出至盖板外，用于与芯片接触，探针中部设置有一突出部，与PCB焊盘接触，探头至突出部之间的探针为导体，由于探头至突出部之间的距离小于探针体的长度，使得信号不需要通过整个探针体的长度进行传输，缩短的信号传输距离，从而减少探针传输过程中的信号损失，特别适用于高频信号传输。

技术领域

本发明涉及一种垂直探针卡，特别涉及一种高频测试的垂直探针卡。

背景技术

在对合格的芯片封装前，通常要实行电特性检测(Electricaldiesorting：EDS)，依据EDS检测结果，对合格芯片才可进行封装。而这种EDS检测，是由内装有各种测量软件和检测仪器的检测机(TESTER)及装载有探针卡的探针台(Proberstation)来实现的。在检测时，探针卡的每一个探针与半导体芯片PAD直接接触，实现半导体晶圆中的芯片PAD及检测机(TESTER)电连接，从而实现对半导体芯片的电特性检测目的，通常的垂直探针卡,包括测试头及PCB。其中测试头包括，测试头上盖板，测试头下盖板和探针组成.探针放在测试头上盖板和测试头下盖板中，测试时，测试针的上端和下端分别接触芯片PAD和PCB(printedcircuitboard：PCB)PAD,从而实现信号的导通,此过程中信号通过测试针传输，但是由于测试针本身的电阻或电感会造成信号的损耗，从而影响测试的精度，特别是在高频测试中信号衰减更大，测试受限。

发明内容

因此，有必要提供一种垂直探针卡以解决上述技术问题。

一种垂直探针卡，包括：PCB板、盖板及探针，所述的PCB板包括底孔及围设在底孔周边的PCB焊盘，所述的盖板包括盖孔，所述的盖板设置在PCB板上，且所述的盖孔与所述的底孔同轴对应设置，所述的底孔与盖孔形成容置空间，所述的探针容置在所述容置空间中，所述的探针包括探头，所述的探头穿过盖孔伸出至盖板外，用于与芯片接触，所述的探针中部设置有一突出部，所述的突出部与所述的PCB焊盘接触，且所述的探头至与所述的突出部之间的探针为导体，所述的探头与突出部之间的距离小于等于探针长度的1/2，所述的底孔的直径应小于突出部的外径，所述的盖孔的最小孔径应小于突出部的外径，所述的突出部的外径小于等于焊盘外径，所述的探针包括探杆及探针座，所述的探针座包括容纳空间，所述的探杆容置在容纳空间内，一弹性元件设置在探杆与探针座之间，并且预设所述探杆向远离探针座方向运动的张力，所述的探针座包括帽体及座体，所述探杆与帽体保持接触，所述的帽体与所述的座体可拆卸连接，所述的突出部设置在所述的帽体上，且所述的突出部呈环状，在突出部对应的帽体内侧设置有内螺纹，所述的座体朝向帽体的一端设置有外螺纹，所述的帽体与所述的座体螺纹连接，所述的帽体为导体，所述的弹性元件为绝缘体，所述的座体为绝缘体，所述的盖板与PCB板之间还设置有定位装置，所述的定位装置包括设置在盖板上的定位孔及设置在PCB板上的定位柱，所述的定位柱与定位孔相匹配。

有益效果：本发明实施例提供一种垂直探针卡，包括：PCB板、盖板及探针，PCB板上设有底孔及PCB焊盘，盖板上设有盖孔，盖板设置在PCB板上，且盖孔与底孔同轴对应设置，探针容置盖孔与底孔内，其中探针包括探头，探头伸出至盖板外，用于与芯片接触，探针中部设置有一突出部，与PCB焊盘接触，探头至突出部之间的探针为导体，由于探头至突出部之间的距离小于探针体的长度，使得信号不需要通过整个探针体的长度进行传输，缩短的信号传输距离，从而减少探针传输过程中的信号损失，特别适用于高频信号传输。

附图说明

图1本发明实施例提供的垂直探针卡立体结构示意图；

图2为图1的爆炸分解图；

图3为图1中G-G截面示意图；

图4为图3中A区放大示意图；