[发明专利]一种真空装置

权利要求书

1.一种真空装置，其特征在于，包括：

支架；

可拆卸的设置于所述支架上的主管道；

与所述主管道内部连通的且与所述主管道可拆卸连接的机械泵(A)；

与所述主管道内部连通的且与所述主管道可拆卸连接的抽气阀(2)；

与所述主管道内部连通的且与所述主管道可拆卸连接的气压表(B)；

与所述主管道内部连通的且与所述主管道可拆卸连接的热偶规管(C)以及与所述热偶规管(C)连接的热偶计，所述机械泵(A)、抽气阀(2)、气压表(B)以及热偶规管(C)沿着所述主管道的轴向依次排布。

2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，还包括与所述主管道内部连通的且与所述主管道可拆卸连接的石英管(D)。

3.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，还包括用于观察放电现象的火花检漏仪。

4.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述主管道包括第一三通(3)、第二三通(4)以及第三三通，其中所述第一三通(3)的第一口与所述机械泵(A)连通，所述第一三通(3)的第二口与所述抽气阀(2)的一端连通，所述第一三通(3)的第三口连接有放气阀(1)；

所述第二三通(4)的第一口与所述抽气阀(2)的另一端连通，所述第二三通(4)的第二口与所述气压表(B)连接，所述第二三通(4)的第三口与所述第三三通的第一口连通；

所述第三三通的第二口与所述石英管(D)连接，所述第三三通的第三口与所述热偶规管(C)连通。

5.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述主管道包括第一三通(3)、第二三通(4)以及四通(5)，其中所述第一三通(3)的第一口与所述机械泵(A)连通，所述第一三通(3)的第二口与所述抽气阀(2)的一端连通，所述第一三通(3)的第三口连接有放气阀(1)；

所述第二三通(4)的第一口与所述抽气阀(2)的另一端连通，所述第二三通(4)的第二口与所述气压表(B)连接，所述第二三通(4)的第三口与所述四通(5)的第一口连通；

所述四通(5)的第二口与所述石英管(D)连接，所述四通(5)的第三口与所述热偶规管(C)连通，所述四通(5)的第四口通过盲板封堵作为备用接口。

6.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，所述抽气阀(2)的两端均通过卡箍分别与所述第一三通(3)和第二三通(4)连接，所述放气阀(1)也通过卡箍与所述第一三通(3)连接，所述第二三通(4)也通过卡箍与所述四通(5)连接。

7.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，所述石英管(D)和热偶规管(C)通过接头与所述四通(5)连接；

所述第一三通(3)的第一口也通过转接头与所述机械泵(A)的波纹管连接。

8.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述支架上设置有用于固定所述主管道的管夹。

9.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述抽气阀(2)为球阀或者针阀。