[发明专利]一种基于GT‑850HP多晶硅低能耗高效双控温铸锭工艺在审
申请号: | 201710340052.7 | 申请日: | 2017-05-15 |
公开(公告)号: | CN107190314A | 公开(公告)日: | 2017-09-22 |
发明(设计)人: | 章勇 | 申请(专利权)人: | 南通综艺新材料有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226000 江苏省南通*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 gt 850 hp 多晶 能耗 高效 双控温 铸锭 工艺 | ||
1.一种基于GT-850HP多晶硅低能耗高效双控温铸锭工艺,其特征在于:包括如下步骤:抽真空——加热——熔化——熔化结束——长晶——中心长晶———边角长晶——退火——冷却——出炉;
所述加热中:控制顶侧功率比为45.0-50.0,隔热笼位置为-0.3-0;
所述熔化中:控制温度为1535-1547,进气设定39.0,顶侧功率比为60.0-80.0,隔热笼位置为2.5-5.5;
所述长晶中:控制温度为1406-1410,进气设定30.0或39.0,顶侧功率比为40.0-60.0,隔热笼位置为7.0-17.0;
所述退火中:控制功率设定1.0-20.0,顶侧功率比为55.0,隔热笼位置为6.0;
所述冷却中:控制隔热笼位置为10.0-34.0。
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