[发明专利]一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头，具体是指一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头。

背景技术

阻蒸镀膜一般是通过加热靶材使其表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且使靶材的原子团或离子沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。而阻蒸镀膜时基片的镀膜厚度是否均匀取决于以下几个方面：(a)基片材料与靶材的晶格匹配程度；(b)基片表面温度；(c)蒸发功率、速率；(d)真空度；(e)镀膜时间、镀膜厚度大小等因素。其中，影响基片的镀膜厚度是否均匀最主要的因素是镀膜时间。目前许多科研单位为了能准确的对镀膜时间进行控制，便采用了晶振探头对靶材蒸发量进行检测，以便于对镀膜时间进行控制。

然而，现有的晶振探头多为一位式晶振探头，该一位式晶振探头在连续的对阻蒸器的靶材蒸发量进行检测时，因晶振探头内的晶振片被反复的污染而容易出现晶振频率不稳定的问题，导致晶振探头无法对靶材蒸发量进行准确的检测，致使基片的镀膜厚度不均匀，从而严重的影响了基片的镀膜质量。

发明内容

本发明的目的在于克服现有的一位式晶振探头在连续的对蒸发器的靶材蒸发量进行检测时，因晶振探头内的晶振片被反复的污染而容易出现晶振频率不稳定的缺陷，提供一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头。

本发明的目的通过下述技术方案现实：一种用于检测蒸发器蒸发量的晶振探头，主要由前端主体，通过连接体连接在前端主体上的后端主体，以及设置在前端主体上的晶振盒组成；其特征在于，在连接体上设置有驱动电机；所述晶振盒包括承载体，设置在承载体上的检测组件，以及与检测组件相连接的信号传输组件；所述驱动电机的转轴与检测组件相连接。

所述检测组件包括设置在承载体上的晶片承接台，和设置在晶片承接台上的晶振片，所述晶片承接台与驱动电机相连接，所述晶振片的数量为2个以上；所述信号传输组件包括与晶片承接台相配合的三爪绝缘背板，设置在三爪绝缘背板上且与晶振片相配合的三爪片，以及与三爪片相连接的三爪背板；所述三爪绝缘背板通过螺栓连接在晶片承接台上。

所述驱动电机的转轴上设置有用于控制驱动电机转动角度的编码器，该驱动电机的转轴上还设置有用于调节驱动电机转速的变速器；所述驱动电机通过变速器和连接轴与晶片承接台相连接。

所述承载体上设置有贯穿其底部的检测孔；所述晶片承接台上设置有用于安装晶振片的凹槽，且该凹槽底部设置有与检测孔相对应的通孔。

所述三爪绝缘背板上设置有与晶片承接台相对应的安装槽，且该安装槽上设置有贯穿其底部的安装孔；所述三爪片设置在三爪绝缘背板的安装槽内，所述三爪背板则设置在三爪绝缘背板的安装孔内，所述三爪片通过螺钉与三爪背板相连接。

所述连接体上设置了安装口和安装支臂，所述驱动电机安装在的安装支臂上，所述变速器则安装在连接体上的安装孔内。

所述前端主体内还设置有屏蔽线，该屏蔽线的一端通过接头连接在连接体上、另一端通过接线座前端主体上；所述前端主体上还设置有与接线座电连接的弹簧探针，该弹簧探针的探针贯穿前端主体后与三爪背板相连接。

所述后端主体上设置有与接头电连接的接口；所述编码器的信号输出接口设置在后端主体的外侧；所述后端主体上设置有进水接头和出水接头。

所述前端主体的前端还设置有用于冷却晶振盒的水冷腔，该水冷腔通过水管分别与进水接头和出水接头相连接。

所述晶片承接台上设置有用于安装连接轴的轴套，该连接轴通过螺钉固定在轴套内；所述轴套外侧设置有固定三爪背板的定位销；所述三爪绝缘背板上设置有与定位销相配合的卡槽；所述前端主体外侧上还设置有用于固定前端主体的安装法兰。

本发明与现有技术相比具有以下优点及有益效果：

(1)本发明的检测组件的晶片承接台在驱动电机的带动下能不断的变换位于检测孔的晶振片，使位于检测孔的晶振片的振荡频率能保持在基准频率范围内，有效的确保了本发明对蒸发器蒸发量检测的准确性，从而确保了基片镀膜厚度的准确性、均匀度，很好的提高了基片镀膜厚度的质量。

(2)本发明的在对晶振片的振荡频率相传输时采用了可自由伸缩的弹簧探针，使三爪背板与弹簧探针的接触更紧密，有效的提高了晶振片的振荡频率传输的稳定性、准确性。

(3)本发明在晶振盒上设置了水冷腔，能对晶振盒进行快速的降温，有效的防止了晶振片因温度过高而变形，从而使晶振片的振荡频率不稳定的问题。

附图说明

图1为本发明的整体示意图。