[发明专利]表面发射激光器装置有效
申请号: | 201710324564.4 | 申请日: | 2017-05-10 |
公开(公告)号: | CN107370021B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 田泽耕明;梁吉镐 | 申请(专利权)人: | 斯坦雷电气株式会社 |
主分类号: | H01S5/42 | 分类号: | H01S5/42 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 吕俊刚;杨薇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面 发射 激光器 装置 | ||
表面发射激光器装置。提供了包括多个表面发射激光器元件并且能够显著减少光的串扰和暗线的形成的表面发射激光器装置。该表面发射激光器装置包括:安装基板;表面发射激光器阵列,所述表面发射激光器阵列包括在所述安装基板上并排布置的多个表面发射激光器元件;多个光吸收层,所述多个光吸收层分别形成在所述多个表面发射激光器元件上,并且各包括开口;以及多个波长转换板,所述多个波长转换板分别形成在所述多个光吸收层上,并且各包括荧光板和覆盖所述荧光板的侧面的光反射膜。
技术领域
本发明涉及包括垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的表面发射激光器装置。
背景技术
垂直腔表面发射激光器(下文中被简称为表面发射激光器)是具有用于导致光垂直于基板表面共振并且导致光在与基板表面垂直的方向上出射的结构的半导体激光器。在本领域中已知包括布置成阵列的多个半导体发光元件(诸如,表面发射激光器)的发光器件。例如,专利文献1(日本特开第2009-134965号)公开了一种照明装置,该照明装置包括:多个发光元件,其安装在基板上;框架,其设置有贯通孔(through hole);以及荧光滤光板,其布置在贯通孔中。
发明内容
在并排布置多个发光元件的发光装置中,例如,期望考虑到单独地驱动多个发光元件,使光的串扰(即,从所述元件中的一个元件发射、在所述元件中的另一个元件(例如,正关闭的元件)的光学路径上行进的光)尽可能地减少。另一方面,当驱动元件时,期望与彼此相邻的元件之间的非发光区域对应的暗线的形成尽可能地减少。
当表面发射激光器是能够以节省空间的方式形成阵列的高功率发光元件时,在阵列化表面发射激光器装置中还更好地促进了上述串扰和暗线的减少。此外,表面发射激光器装置的热产生量大于例如发光二极管(LED)的热产生量。因此,期望表面发射激光器装置具有高散热性能。
本发明鉴于上述问题而作出。本发明的目的是提供一种包括多个表面发射激光器元件并且能够显著减少光串扰和暗线形成的表面发射激光器装置。本发明的另一个目的是提供包括多个表面发射激光器元件并且具有高散热性能的表面发射激光器装置。
根据本发明的表面发射激光器装置包括:安装基板;表面发射激光器阵列,其包括在所述安装基板上并排布置的多个表面发射激光器元件;多个光吸收层,其分别形成在所述多个表面发射激光器元件上,并且各包括开口;以及多个波长转换板,其分别形成在所述多个光吸收层上,并且各包括荧光板和覆盖所述荧光板的侧面的光反射膜。
附图说明
图1的(a)是示意性地例示根据第一实施方式的表面发射激光器装置的透视图,图1的(b)是根据第一实施方式的表面发射激光器装置的截面图;
图2的(a)是例示根据第一实施方式的表面发射激光器装置中的发光区段(light-emitting segment)的截面图;图2的(b)是示意性地示出发光区段中的光的路径的图;以及
图3是例示根据第二实施方式的表面发射激光器装置的截面图。
具体实施方式
现在,下面将详细描述本发明的实施方式。
[第一实施方式]
图1的(a)是示意性地例示根据第一实施方式的表面发射激光器装置(下文中被简称为激光器装置)10的透视图。表面发射激光器装置10具有表面发射激光器阵列(下文中被简称为激光器阵列)12,所述表面发射激光器阵列12包括在安装基板11上并排布置的多个垂直腔表面发射激光器(VCSEL)元件(下文中被简称为表面发射激光器元件或激光器元件)12A。为了附图清晰起见,在图1的(a)中仅示出了激光器元件12A中的一些。
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