[发明专利]一种热电堆检测装置

说明书

技术领域

本发明属于半导体传感器领域，具体涉及一种热电堆检测装置。

背景技术

在工业生产过程中，温度是需要测量和控制的重要参数之一。在温度测量中，热电偶的应用极为广泛，具有多种优点。在需要对微小温差测量后得到精确、放大的测量结果，需要利用各热电偶输出的热电势互相叠加的特性，将两个或多个热电偶串接形成热电堆，达到一个精确的输出结果。在激光能量测量的方法中，一般是利用传感器测量激光吸收体吸收激光能量后温度升高的量值，从而实现对激光能量的测量。热电堆是激光能量计的重要部件，在激光能量计的生产过程中，需要对热电堆的响应灵敏度及线性度进行检测。

热电堆输出的电压U、热电堆冷热端温度差ΔT、热电堆灵敏度 S之间的关系为：U＝SΔT，因此，通过在热电堆一端加载热量，同时对另一端进行制冷，在热电堆两端形成温差，通过对热电堆两端温度、输出电压U的测量，通过计算，可以得到热电堆的灵敏度S并同时检测热电堆的线性度。

现行的检测装置，均是利用测温装置分别对热电堆两端温度进行测量，再测量热电堆输出电压U，进而得到热电堆灵敏度和线性度结果。由于现有装置绝热密封措施不足，造成热电堆两端串温，导致两端温差不稳定，且由需要分别测量热电堆两端温度，容易造成测量误差的叠加，使输出结果准确性受到影响。

发明内容

针对现有技术中热电堆检测装置存在的技术问题，为了增加热电堆检测装置对热电堆两端的绝热密封性，对热电堆的加热能量进行精确控制，省去对热电堆两端温度的分别测量，减小检测误差并简化测试设备，本发明提出一种热电堆检测装置。

为实现上述发明的目的，本发明是通过以下技术方案来实现的：

一种热电堆检测装置，绝热工装1为绝热材料材质，绝热工装1 内侧设置有下凹部8和供加热导线4引出的引线孔9，下凹部8内由底往上顺序设置有电加热部件3和能够包覆待测电热堆侧面的绝热圈13，绝热圈13设置有供连接待测电热堆的测试导线11穿出的孔 14，电加热部件3通过加热导线4连接有直流电源分析仪6；导热工装2为导热材料材质，盖合在所述绝热工装1上，导热工装2内侧设置有导热凹部10和供测试导线7引出的出线孔11，所述导热凹部10 设置在导热工装2内侧与下凹部8对应的位置，待测电热堆通过测试导线7连接A/D转换器5的输入端。

本发明进一步的技术方案在于：绝热工装1为聚四氟乙烯材质，导热工装2为金属铝材质，绝热工装1的一端和导热工装2的一端铰接。

本发明进一步的技术方案在于：还包括绝热垫12，所述绝热垫 12为聚四氟乙烯材质，所述绝热垫12设置在下凹部8的底面，所述绝热垫12之上顺序设置有电加热部件3和用于包覆待测电热堆侧面的绝热圈13，所述绝热圈13设置有供连接待测电热堆的测试导线11 穿出的孔14。

本发明进一步的技术方案在于：导热凹部10的边缘与导热工装 2边缘之间的区域内，设置有一圈聚四氟乙烯材料制成的凸起部。

本发明进一步的技术方案在于：电加热部件3是厚度为0.5mm 至2mm的平面镀膜电阻，A/D转换器5转换分辨率为1μV-5μV；所述直流电源分析仪6为可编程输出的电源。

本发明，采用高精度直流电源分析仪精确控制热电堆加热端的加热能量，采用绝热工装使热电堆加热端保持密封，采用导热工装使热电堆恒温端保持室温，获得了电热堆加热端和恒温端精确的温度差，采用绝热圈对热电堆侧面进行密封，减小了热电堆两端的热量传递。本发明结构简单，实现了电热堆加热端和恒温端的良好密封，省去了传统装置中设置的对热电堆两端温度测量的装置，减少了测量数据，提高了电热堆检测的精确度。

附图说明

图1为基于镀膜电阻的热电堆灵敏度及线性度检测系统原理图；

图2为绝热工装结构示意图；

图3为导热工装结构示意图；

图4为导热工装绝热垫；

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行说明。

实施例1：