[发明专利]柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法

权利要求书

1.一种柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于：

步骤1，配制可旋涂溶胶，在室温及搅拌工艺条件下，在有机溶剂中加入乙酸锌、硝酸锌、单乙醇胺、乙酰丙酮及掺杂物质，其中乙酸锌与硝酸锌的摩尔比为(4.7～5):(2.8～3)，掺杂物质的加入量按杂质离子相对于锌离子的摩尔浓度为1～3％而定，至此获得可旋涂溶胶；

所述掺杂物质为硝酸铝或者氟化铵；

步骤2，制作溶胶膜，将所述可旋涂溶胶均匀滴加在柔性衬底上，所述柔性衬底为耐高温PET膜，在3000～3500rad/min的速度下旋涂20～30s，在70～90℃温度下加热10～15m，获得溶胶膜；

步骤3，形成产物薄膜，将所述溶胶膜在240～260℃温度下退火25～35m，获得柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙二醇甲醚或者乙醇。

3.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于，以所述步骤2获得的溶胶膜作为第1层溶胶涂层，再在第1层溶胶涂层上均匀滴加可旋涂溶胶，在与步骤2相同条件下旋涂、加热，获得第2层溶胶涂层，重复所述滴加、旋涂和加热工艺环节，获得由3～4层溶胶涂层叠加而成的多层溶胶膜。

4.根据权利要求1所述的柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜的化学制作方法，其特征在于，在所述步骤3之后，步骤2、步骤3再重复2～3次，获得包含9～16层溶胶层的加厚柔性掺杂型ZnO基透明导电薄膜。