[发明专利]一种基板曝边设备

说明书

本发明提出了显示技术领域中的一种基板曝边设备，该曝边设备的承载台包括外围的固定装置、设置在固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。从而避免了反射光对基板的损伤和由此产生的缺陷。尤其当透明支撑部由玻璃制成时，进一步保证了支撑的性能，提高了产品品质。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种基板曝边设备。

背景技术

光刻工艺是现代显示器生产的核心工艺之一，其主要包括涂布、曝光和显影等制程。曝边制程是曝光之后、显影之前的辅助制程，主要目的是对位于基板边缘区域的厚度异常的光阻进行充分曝光，以便在显影制程中能够将曝边部分的光阻全部溶解掉，从而有利于蚀刻制程中将边缘的膜全部去除，避免后续制程和工艺上的不良。

现有技术中，曝边设备的承载台采用支撑柱设计，在基板的周向边缘处同样设置有用于支撑的支撑柱，如图1、图2所示。在基板11的非边缘区域112设置有用于支撑基板11的支撑柱12和用于固定基板11的真空吸盘13。在曝边制程中，基板11的周向边缘区域111的光阻113膜厚很厚，为了保证在曝边制程中基板11的稳定性和曝边品质，沿基板11的周向边缘区域111同样设置有支撑柱12。为了确保后续制程中能够将位于周向边缘区域111内的光阻113去除，需要采用较强的曝光能量。然而，过强的曝边光线14能够穿过光阻113和基板11，直接抵达位于基板11下方的支撑柱12。支撑柱12表面会有反射光15反射回基板11，从而造成基板缺陷，如图3所示。此缺陷的形状与支撑柱和基板接触的表面形状大体相当。为了防止该缺陷的产生，无论是挪动支撑柱的位置或减小支撑柱和基板接触的表面大小都会带来支撑不稳的风险。

发明内容

针对现有技术中的不足，本发明提出了一种基板曝边设备。

本发明提出的基板曝边设备，包括用于承载基板的承载台，所述承载台包括外围的固定装置、设置在所述固定装置上用于承载基板的透明支撑部和被所述透明支撑部包围的中间支撑部，在基板的曝边制程中，所述透明支撑部能够使曝边光线穿过而不会形成反射光。

曝边光线穿过透明支撑部、不形成反射光，就避免了反射光对基板的损伤，避免了由此产生的缺陷。本发明中的透明支撑部能够完全替代现有技术中的用于支撑基板周向边缘的支撑柱，也就不需要为了防止缺陷的产生而另外更换与基板接触面积较小的支撑柱，进一步节省了机台升级的成本。

作为对透明支撑部的改进，所述透明支撑部的材料为玻璃。玻璃不仅具有良好的透光性，而且还具有很高的强度，保证了支撑的性能。

作为对透明支撑部的改进，所述透明支撑部包括在基板法线方向上与基板重合的支撑区域和将所述支撑区域固定在所述固定装置上的固定区域，所述支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合。支撑区域的朝向基板的一侧与基板紧密贴合使得支撑板与基板结合为一体，因此，曝边的光线在穿过基板的同时也穿过了透明支撑部，不会再产生反射光线。

作为对透明支撑部的支撑区域的改进，所述支撑区域在基板的法线方向上的厚度均匀。厚度均匀的支撑区域，就限定了在支撑区域的背离基板的一侧不存在凸点，因此，当光线由靠近基板的一侧进入支撑区域并射入到背离基板的一侧时就不会产生由于凸点导致的散射，避免了光线反射回基板造成缺陷。

作为对透明支撑部的固定区域的改进，所述固定区域在基板的法线方向上的厚度自所述支撑区域向所述固定装置方向逐渐增加。这样的固定区域具有更高的强度，能够更好地对支撑区域进行支撑，以便更好地支撑基板。