[发明专利]一种用于真空互联系统的通用样品托

权利要求书

1.一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具具有三层结构，底层是与真空互联系统的样品传送系统相配套的标准样品托(1)，中间层是符合标准样品外形尺寸的转接架(5)，顶层是与非标准待传送样品(3)相适应的固定架(4)，并与中间层转接架(5)相连；传样品系统在操作非系统标准尺寸的样品(3)时，将非系统标准尺寸的样品(3)通过固定架(4)固定在转接架(5)上，传样系统操作具有标准外形尺寸的转接架(5)，就如同操作标准样品(2)一样来传送非系统标准尺寸的样品(3)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具有三层结构的底层是特定尺寸系统的标准样品托(1)，进一步讲是一个圆柱形带平行通道(1-2)和中间90°交叉凹槽(1-3)的多台阶柱体，顶端开有可以承载标准圆形样品(2)的承载面(1-1)；标准圆形样品(2)可以从标准样品托(1)的平行通道(1-2)和中间90°交叉凹槽(1-3)两方向取出，符合真空互联系统中传样系统的需求；对于2时晶圆为标准样品的系统，平行通道(1-2)宽度在25.0-48.0mm之间，优选40.0mm，凹槽(1-3)宽度在25.0-35.0mm之间，优选28.0mm，对其它尺寸的晶圆系统依据比例适度调整。

3.根据权利要求1和权利要求2所述的一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具有三层结构的底层标准样品托(1)的样品支撑面(1-1)是由2个以上对称结构的样品支撑点(1-1-1)构成，优选4个，该支撑点(1-1-1)的形状和位置与中间转接架(5)相应位置的卡槽(5-1)匹配形成卡槽结构，样品支撑点(1-1-1)高于转接架(5)0.2-2.0mm，起到固定转接架(5)在标准样品托(1)上，在转接架(5)受到侧向力拉拽时不会从标准品托(1)上翻落。

4.根据权利要求1、权利要求2和权利要求3所述的一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具有三层结构的底层标准样品托(1)的样品支撑面(1-1)由2个以上对称结构样品支撑点(1-1-1)构成，样品支撑点-1-1-1的高度在0.2-4.0mm之间，对于2时底层标准样品托(1)优选2.5mm，厚度0.5-3.0mm，优选1.5mm，距离边缘间隙1.0-4.0mm，优选2.0mm，对其它尺寸的晶圆系统依据比例适度调整。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具有三层结构的中间层是转接架(5)，进一步讲是一个具有标准样品(2)尺寸的圆盘，厚度符合刚度和样品传送系统操作的需要，0.5-3.0mm；在转接架(5)上与标准样品托(1)的样品支撑点(1-1-1)对应的位置上开有与样品支撑点(1-1-1)相配的卡槽(5-1)，转接架(5)低于标准样品托(1)样品支撑点(1-1-1)的高度0.2-2.0mm，可以卡入标准样品托(1)，在受到侧向力拉拽时不会从标准样品托(1)上翻落；转接架(5)具有与样品固定架(4)相连的螺纹结构(5-2)，优选M2螺纹固定孔，根据样品固定架固定孔进行分布，优选10mm间距的阵列分布。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空互联系统的通用样品托，其特征在于：所述一种用于真空互联系统的通用样品托具有三层旋转结构的的顶层是固定架(4)，进一步讲是一个可以适合固定待传小样品(3)结构的固定机构，优选弹性夹持机构来固定待传样品(3)，小样品旗形样品托(3)可以从样品固定架(4)侧面插入或拔出；顶层固定架(4)与中间层转接架(5)采用螺丝(4-1)固定结构连接，优选M2螺丝，孔间距与转接架(5)上螺丝孔间(5-2)距相同，优选10mm间距。