[发明专利]静电监控系统

说明书

一种静电监控系统，适用于设置在一测试平台上，包含一静电分析装置、一静电检测装置及一接地检测装置；该静电分析装置包含一壳体及一设置于该壳体中的控制电路；该静电检测装置包含一静电检测组，用以将该控制电路与一人员电连接，以实时判断该人员是否带有静电；该接地检测装置包含一接地检测组，用以将该控制电路与测试平台电连接，以实时判断该待测物是否接地；通过本技术方案，当该测试平台确实接地，且该人员也不带静电时，该静电分析装置的控制电路控制对外提供电源，以提供该人员适当的作业环境。

技术领域

本发明是有关于一种静电监控系统，尤其是一种利用静电手环进行监控的静电监控系统。

背景技术

集成电路是将电路、半导体、晶体管等多种电子组件微小化，制作于硅芯片上。而已经微小化的集成电路易会设计出静电隔离及保护的结构，防止静电轰击集成电路而造成微小的电子组件损坏。

但是未完成制作的集成电路，未具有任何静电隔离及保护的结构，因此在集成电路的制作环境，必须将环境中的设备(包含桌椅等对象)都必须进行接地，作业员也必须穿着低阻值的无尘衣，避免集成电路遭到静电的破坏。

目前在集成电路的制造流程中，有许多制造流程仍然无法自动化，必须依靠作业员的作业，在作业员的作业环境中的设备必须接地，其作业员的身体也必须接地，以避免产生静电堆积。

目前的作业员并无法得知所使用的设备是否正确接地，在厂务应该将所有的设备正确接地得条件下，作业时只需要依据作业员的标准作业程序(SOP，Standard OperatingProcedures)的规定，配戴静电手环即可让集成电路在无静电的条件下正常作业。

因此当环境设施的接地发生问题时，就有可能使设备或人员产生静电。举例来说，接地处的锁设螺丝发生脱落，或是接地线受外力的拉扯而断线的意外发生时，作业员无法得知任何警报信息，不会停止集成电路的制造作业，就会使集成电路遭受静电的破坏，而遭受重大损失。

因此，如何确认集成电路的制造环境中不会有静电产生，并在发现具有静电产生的风险时，立即通知作业员停止作业，以避免集成电路在制作过程被静电破坏，是相关技术人员亟需努力的目标。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是在于提供一种静电监控系统，适用于设置在一测试平台上，该测试平台具有一静电接地线，该静电监控系统包含一静电分析装置、一静电检测装置，及一接地检测装置。

该静电分析装置包含一壳体、一设置于该壳体中的控制电路、一设置于该壳体的电源输入埠、一设置于该壳体的信息显示部、一设置于该壳体的静电检测端口，及一设置于该壳体的接地检测端口，该控制电路与该电源输入埠、该信息显示部、该静电检测端口，及该接地检测端口电性连接。

该静电检测装置设置于该壳体，并包含一静电检测组，该静电检测组的一端可分离地设置于静电检测端口，另一端与一人员的肌肤连接，该控制电路由该静电检测组取得该人员的人体阻抗，以判断该人员是否带有静电。

该接地检测装置设置于该壳体，并包含一接地检测组，该接地检测组的一端与该接地检测端口连接，另一端与该测试平台连接，该控制电路由该接地检测组取得该静电接地线的阻抗值，以判断该测试平台是否接地。

本发明的又一技术手段，是在于上述的静电检测组具有一用以插设于该静电检测端口的插设端、一与该插设端连接的电位传输线、一与该电位传输线连接的静电手环，及二个设置于该静电手环上的金属片。

本发明的另一技术手段，是在于上述的接地检测端口具有一量测点及一接地点，该接地检测组具有一连接该量测点与该测试平台的量测线，及一将该接地点接地的接地线。

本发明的再一技术手段，是在于上述的静电检测组与该控制电路电连接，该控制电路与该接地点电连接，以使该静电检测装置导走该人员身上的静电。