[发明专利]用于超大尺寸硅锭的热场结构

权利要求书

1.一种用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：包括由顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件围城的隔热笼，在隔热笼的底部设有热交换控制装置，在热交换控制装置上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块，在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板；所述顶部保温组件上设有1-6个进气管，所述顶部保温组件上设有顶加热电极，侧部保温组件上设有侧加热电极和底加热电极，所述顶加热电极、侧加热电极和底加热电极分别通过水冷电缆与各自的变压器相连，变压器与功率控制器相接。

2.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述侧部保温组件由上保温组件和下保温组件构成，下保温组件设在热区隔离板下方，所述下保温组件由内保温板和外保温板构成。

3.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述底部保温组件包括水平保温组件，在水平保温组件的内侧连接有竖直保温组件，所述竖直保温组件的上端高出水平保温组件。

4.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述顶部保温组件、侧部保温组件和底部保温组件均为保温毡板，所述顶部保温组件的厚度为90mm-150mm，所述侧部保温组件的厚度为40mm-150mm，所述底部保温组件的厚度为40mm-100mm。

5.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述热区隔离板为保温毡板，厚度为20mm-80mm。

6.根据权利要求1所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述热交换控制装置包括相对错层重叠设置的第一保温组件和第二保温组件，所述第一保温组件设有上下设置的第一下保温板和第一上保温板，所述第二保温组件设有上下设置的第二下保温板和第二上保温板，第二上保温板设在第一下保温板上方；在第一下保温板和第二上保温板相向一侧上分别设有开口，在第一上保温板和第二下保温板相向一侧上分别设有与对应的开口配合密封的密封部；在第一保温组件和第二保温组件的下方分别设有驱动第一保温组件和第二保温组件前后同时运动的牵引导轨。

7.根据权利要求6所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：第一保温组件和第二保温组件分别通过固定连接板与对应的牵引导轨相连,所述固定连接板通过螺栓固定在牵引导轨的端部上。

8.根据权利要求6所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：所述第一下保温板和第二上保温板的开口为 V 型,所述开口的角度为60°-180°。

9.根据权利要求6所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：述第一下保温板、第一上保温板、第二下保温板和第二上保温板均为保温毡板,所述第一保温组件和第二保温组件的厚度为60mm-120mm。

10.根据权利要求6所述的用于超大尺寸硅锭的热场结构，其特征在于：第一保温组件和第二保温组件下方的牵引导轨均分别与驱动装置相连。