[发明专利]一种单套真空系统多通切换装置

权利要求书

1.一种单套真空系统多通切换装置，其特征在于：包括旋转弯头、旋转支承装置、真空槽接头、旋转驱动装置，所述旋转弯头安装在旋转支承装置上，所述旋转支承装置与旋转驱动装置装配连接，所述旋转驱动装置包括驱动电机、减速机，所述旋转支承装置上设有位置检测传感器，所述真空槽接头设在旋转弯头的四周，真空槽接头的端部设有伸缩接头，伸缩接头的端部设有空心密封圈，伸缩接头上设有伸缩机构。

2.根据权利要求1所述的一种单套真空系统多通切换装置，其特征在于：所述旋转弯头设为90°连接弯头，90°连接弯头一端的轴线为旋转中心线，安装在旋转支承装置上，需要抽真空的真空槽接头水平布置在以90°连接弯头的另一头轴线旋转形成的同一平面上，且在在同一圆周上均匀布置。

3.根据权利要求1所述的一种单套真空系统多通切换装置，其特征在于：所述伸缩机构就是驱动伸缩接头进行伸缩的动力机构，包括弹簧和伸缩缸，伸缩缸设为气缸或液压缸，伸缩机构均匀分布在伸缩接头外圆周上。

4.根据权利要求1所述的一种单套真空系统多通切换装置，其特征在于：所述空心密封圈安装在伸缩接头上与旋转弯头接触面的凹槽内，空心密封圈具有弹性，且横截面为空心的密封圈。