[发明专利]一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统

权利要求书

1.一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统，其特征在于，由三块凸透镜和一个光阑组成，各凸透镜和光阑均垂直于光路且共光轴设置；其中，从物侧到像侧依序为第一凸透镜、第二凸透镜、光阑和第三凸透镜；

令第一和第二凸透镜之间的距离、第二凸透镜和光阑之间的距离、光阑和第三凸透镜之间的距离分别为L₁、L₂、L₃，令第一、第二、第三凸透镜在真空紫外激光波段的的焦距分别为f₁、f₂、f₃，则各元件的参数满足以下公式：

1.5×(f₁+f₂)＞L₁＞f₁+f₂ (1)

L₁＞2f₁ (2)

f₂≥f₁ (3)

L₃＞f₃ (5-1)

所述第三凸透镜的工作距离WD按照公式(6)计算：

2.一种用于真空紫外激光的透射式分光聚焦系统，其特征在于，由四块凸透镜和一个光阑组成，各凸透镜和光阑均垂直于光路且共光轴设置；其中，从物侧到像侧依序为第一凸透镜、第二凸透镜、光阑第三凸透镜和第四凸透镜；

令第一和第二凸透镜之间的距离、第二凸透镜和光阑之间的距离、光阑和第三凸透镜之间的距离分别为L₁、L₂、L₃，令第一、第二、第三及第四凸透镜在真空紫外激光波段的的焦距分别为f₁、f₂、f₃、f₄，则各元件的参数满足以下公式：

1.5×(f₁+f₂)＞L₁＞f₁+f₂ (1)

L₁＞2f₁ (2)

f₂≥f₁ (3)

L₃＝f₃ (5-2)；

所述第四凸透镜设置在第三透镜后方任意处，第四凸透镜的工作距离等于该凸透镜的焦距f₄。

3.根据权利要求1或2所述的透射式分光聚焦系统，其特征在于，所述光阑的中心孔直径为1-50μm。