[发明专利]用于显微镜部件的调节装置和用于调节显微镜部件的方法

说明书

本发明涉及一种应用在显微镜中的用于显微镜部件的调节装置(100)以及一种显微镜和一种用于调节显微镜部件的方法，该调节装置具有在引导件(110)中的滑架(120)且具有传动机构(130)，其中，显微镜部件(230)可设置在滑架(120)上，该滑架利用传动机构(130)能够朝向和逆着重力方向(z)在引导件(110)中移动，该调节装置还具有至少一个弹簧元件(150)，该弹簧元件布置在调节装置(100)中，从而该弹簧元件逆着重力方向对滑架(120)施加力。

技术领域

本发明涉及应用在显微镜中的用于显微镜部件(比如载物台)的调节装置以及用于调节这种显微镜部件的方法。

背景技术

在显微术中可以采用显微镜，其中，把待检查的物体或样本放置在所谓的载物台上，以便借助显微镜来检查它。为了在用显微镜观察时使物体清晰或聚焦，通常使得载物台在聚焦方向上调节，也就是说，往往在z方向上或者朝向或逆着重力方向调节。

在使用较重的载物台的情况下或者在载物台上使用较重物体的情况下，比如在显微镜上检查晶圆、半导体掩模、LCD屏幕或类似的情况下，会出现如下问题：载物台仅仅通过在传动机构中作用的摩擦力不能保持在一次性调节好的位置上，而是在重力的作用下向下移动。这导致物体从最佳的聚焦位置移动出来，需要重新调节。

发明内容

在这种背景下提出如下目的：提供一种可行方案，用来简单地或持久地调节出最佳的聚焦位置，即使采用了较重的载物台或者检查较重的物体。

根据本发明，提出具有独立权利要求的特征的一种用于显微镜部件的调节装置、一种显微镜以及一种用于调节显微镜部件的方法。从属权利要求以及后续说明书所述为有利的设计。

本发明涉及一种应用在显微镜中的用于显微镜部件的调节装置。该调节装置具有在引导件中的滑架且具有传动机构，其中，在滑架上可设置显微镜部件，在利用传动机构的情况下，该滑架能够朝向和逆着重力方向在引导件中移动。这种调节装置也称为聚焦传动件或z传动件，它是一种常见的调节装置，其比如应用于在显微镜中作为显微镜部件的载物台。但这里也能够想到的是，可以借助这种调节装置来使得其它显微镜部件比如物镜移动或调节。

根据本发明，现在设置至少一个弹簧元件，其布置在调节装置中，从而该弹簧元件逆着重力方向对滑架施加力。优选地，至少一个弹簧元件，可以包括弹簧，特别是螺旋弹簧。通过这种弹簧元件，施加在滑架上的由载物台或另一显微镜部件重力产生的作用力被有效地减小了。因而通过这种方式可以实现，在载物台作为显微镜部件的情况下，物体不再并非所愿地从聚焦位置移动掉。这一点尤其适用于这种具有直齿传动的调节装置。根据显微镜部件的重力大小，这种弹簧元件在此可以经过适当地选择，使得其弹簧力抵消或者至少在很大程度上抵消显微镜部件的重力。也可行的是，设置多个尺寸较小的弹簧元件，它们的弹簧力叠加成一个总弹簧力，这个总弹簧力抵消了显微镜部件的重力。于是在传动机构中仍然存在的摩擦力足以将显微镜部件保持在适当位置。通过在调节装置中，特别是也在滑架内部设置至少一个弹簧元件，还能实现紧凑的且简单的结构形式。

尽管传统的调节装置能实现将目标只在或者至少基本上在朝向或者逆着重力方向上调节，例如载物台或其它显微镜部件，然而，即使调节装置对于一种移动或移动方向只有一个分量(在向量分解的意义上)朝向或逆着重力方向，本发明提出的调节装置已经能够实现所希望的效果(移动、聚焦并保持位置不变)。

由这种弹簧元件实现的另一优点是，消耗明显小的力就能调节显微镜部件。这尤其是在例如采用电动机作为用来操纵传动机构的自动操纵机构时也是有利的，因为这种电动机由此能够被设计成施加较小的力，因而可以把尺寸设计得相当小。

优选地，至少一个弹簧元件，特别是参照由其施加或提供的力的方向，在重力方向上设置在调节装置中。因而可以例如沿着重力方向设置螺旋弹簧。通过这种方式，一方面可以特别节省空间地将弹簧元件设置在调节装置中，另一方面可以利用弹簧元件特别好地对滑架施加力。