[发明专利]一种静电场辅助多晶硅铸锭的方法在审
| 申请号： | 201710234839.5 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN107164802A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 杨晓朋;张立来;曹丙强 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;C30B30/02 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业)37240 | 代理人： | 李茜 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电场 辅助 多晶 铸锭 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种静电场辅助多晶硅铸锭的方法，其特征在于，所述方法包括下述具体步骤：
(1)将两片电极板置于多晶铸锭坩埚上下两侧，并保持平行；
(2)电极板外接高压电源，给电极板输出稳定电压；
(3)保持两极板间电场强度的稳定，进行多晶硅铸锭工艺；
(4)铸锭结束，极板断电，即可得到性能优异的多晶硅铸锭。
2.如权利要求一所述一种静电场辅助多晶硅铸锭的方法，其特征在于，电极板输出稳定电压的变化范围在1V-10000V可调。
3.如权利要求一所述一种静电场辅助多晶硅铸锭的方法，其特征在于，电场强度可在1V/cm-100000V/cm范围内稳定于一个具体值。
4.如权利要求1所述的一种静电场辅助多晶硅铸锭的方法，其特征在于，步骤(1)中，所述电极板材料为石墨、导电无机物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于济南大学，未经济南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710234839.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
