[发明专利]玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底的制造装置。

背景技术

有时为制造用于液晶显示器或等离子体显示器等平板显示器的玻璃衬底(以下，称为「显示器用玻璃衬底」)，而使用溢流下拉法。溢流下拉法包括如下步骤：通过在成形炉中使熔融玻璃自成形体的上部溢出(overflow)而在成形体的下方成形板状的平板玻璃、及使平板玻璃在缓冷炉中缓冷的冷却步骤。在缓冷炉中，将平板玻璃引入成对的辊间，利用辊将平板玻璃一面搬运至下方一边拉拔成所需的厚度后，将平板玻璃进行缓冷。此后，通过将平板玻璃截断为特定的尺寸而形成玻璃板。

沿着成形体的侧面向下流动的熔融玻璃在离开成形体的同时，因表面张力而在平板玻璃的宽度方向上收缩。专利文献1中，公开有如下方法，即，在成形体与成形体下方的张力辊之间，在平板玻璃的宽度方向的缘部附近，使用与平板玻璃相隔地设置的冷却单元，调整平板玻璃的缘部的温度，抑制平板玻璃的收缩。此后，收缩被抑制的平板玻璃穿过缓冷空间而成形。在该缓冷空间中，环境温度以成为所需的温度轮廓(玻璃板中不产生应变的温度分布)的方式得到控制，从而抑制玻璃板的板厚偏差、翘曲、应变。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开平5-124827号公报

发明内容

[发明要解决的问题]

近年来，在液晶显示装置用玻璃衬底中，对规格(品质)的要求日益严格。对玻璃衬底的表面要求较高的平坦性，为满足要求规格，尤其必须抑制陡峭的凹或凸导致产生条纹(striae)或局部的板厚偏差。该条纹是在特定的宽度中平板玻璃的厚度(高度)变动所致的凹凸，且因离开成形体的同时，因表面张力而在平板玻璃的宽度方向上收缩所致，且在平板玻璃的搬运方向上纹路状连续地产生。

因此，本发明的目的在于提供一种可抑制包含平板玻璃上产生的条纹的局部的板厚偏差的玻璃衬底的制造方法、及玻璃衬底的制造装置。

[解决问题的技术手段]

本发明的一形态是一种将熔融玻璃自玻璃供给管供给至具有供给槽的成形体，使用所述成形体通过溢流下拉法成形平板玻璃的玻璃衬底的制造方法。在该制造方法中，

所述供给槽具有供给至所述供给槽的熔融玻璃自所述供给槽溢出的量在所述供给槽的延伸方向及与所述延伸方向正交的宽度方向上达到均一的底面形状，

所述玻璃衬底的制造方法具有：

成形步骤，将自所述玻璃供给管供给至所述供给槽的熔融玻璃的最大温度差为30℃以下且熔融玻璃的粘度为22000dPa·s以上38000dPa·s以下的熔融玻璃供给至所述供给槽，且在所述成形体的下端使所述熔融玻璃汇流，成形平板玻璃；及

端部冷却步骤，以抑制在所述成形步骤中成形所得的所述平板玻璃中局部产生的板厚偏差的方式，将平板玻璃的宽度方向的两端部冷却。

在所述端部冷却步骤中，优选将所述成形体在所述平板玻璃的宽度方向上未变形时施加的且所述平板玻璃的剖面形状成为目标形状的张力设为基准张力，在所述成形体未变形时，以通过将所述平板玻璃的宽度方向的两端部冷却而达到所述基准张力的方式进行控制，且在所述成形体产生变形时，对于所述平板玻璃施加根据所述成形体的变形而与所述基准张力相加的张力。

此时，优选所述成形体的变形是随着所述成形体的使用而经时变化的蠕变变形，且对所述基准张力加上与所述蠕变变形造成的所述成形体的特定位置的位移量相应的张力。

而且，优选随着所述变形变大，而增强所述两端部的冷却。

优选所述板厚偏差为10μm以下。

在所述成形步骤中，优选以在所述成形体中向下流动的熔融玻璃的温度比所述熔融玻璃的液相温度增高10℃～150℃的方式，加热所述熔融玻璃。

本发明的其他一形态是一种将熔融玻璃自玻璃供给管供给至具有供给槽的成形体，使用所述成形体通过溢流下拉法成形平板玻璃的玻璃衬底的制造装置。

所述成形体具有接收最大温度差为30℃以下且粘度为22000dPa·s以上38000dPa·s以下的熔融玻璃供给的供给槽、及用以在所述成形体的下端使所述熔融玻璃汇流而成形平板玻璃的壁面。

所述供给槽具有供给至所述供给槽的熔融玻璃自所述供给槽溢出的量在所述供给槽的延伸方向及与所述延伸方向正交的宽度方向上达到均一的底面形状。