[发明专利]超高温无源薄膜温度传感器及其制作方法

权利要求书

1.一种超高温无源薄膜温度传感器的制作方法，所述超高温无源薄膜温度传感器，包括介质基底（1）和平面螺旋电感（2），所述介质基底（1）采用氧化铝陶瓷制作，所述平面螺旋电感（2）采用铂金属制作，平面螺旋电感（2）位于介质基底（1）的一侧，平面螺旋电感（2）存在寄生电容，平面螺旋电感（2）与寄生电容形成一个LC谐振回路，

其具体的制作步骤为：

a. 介质基底的制作

1）流延成型，将耐高温氧化铝陶瓷浆料加入引发剂和催化剂搅拌均匀，注入到相应的模具中，加热浆料形成固相的生瓷带；

2）将生瓷带进行切片；

3）将切好的生瓷片进行叠片，然后在70℃的环境中用21MPa的压力静压5min；

4）将叠片的基底材料进行高温烧结，烧结的峰值温度为1400℃～1550℃，形成致密的陶瓷结构；

b. 在介质基底上印制电路图形

（1）先制作出平面螺旋电感图形的网版；

（2）将制作出的网版置于介质基底之上，将介质基底与网版上的电路图案对齐，固定网版使其与介质基片紧密接触；

（3）在网版一端添加铂金属浆料，用刮板将浆料推向网版另一端；

（4）将印刷有电路图案的介质基底置于烘干炉中烘干，使浆料中液相组分排出；

（5）将烘干的介质基底在烧结炉里烧结，传感器制作完成。

2.一种超高温无源薄膜温度传感器的制作方法，所述超高温无源薄膜温度传感器，包括介质基底（1）和平面螺旋电感（2），所述介质基底（1）采用氧化铝陶瓷制作，所述平面螺旋电感（2）采用铂金属制作，平面螺旋电感（2）位于介质基底（1）的一侧，平面螺旋电感（2）存在寄生电容，平面螺旋电感（2）与寄生电容形成一个LC谐振回路，采用3D打印技术进行制作，其具体的制作步骤为：

a. 首先建立3D打印技术的数字模型文件，设置传感器尺寸及材料；

b. 选择陶瓷粉末和液相混合剂，按照数字模型文件进行陶瓷基底打印；

c. 传感器电感的制作采用3D打印中选择性激光烧结技术，

（1）首先在基底材料上打印一层镍鉻钛合金粉末；

（2）将镍鉻钛合金粉末预热到稍低于其熔点的温度，用脉冲激光将电感位置的金属熔融；

（3）等熔融的电感冷却后去除其他部分的金属粉末。