[发明专利]一种用于触摸屏的ITO薄膜的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电材料技术领域，具体涉及一种用于触摸屏的ITO薄膜的制备方法。

背景技术

ITO(Indium Tin Oxides，铟锡金属氧化物) 是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO 薄膜即铟锡氧化物半导体设在薄膜的一面形成的透明导电膜。ITO薄膜具有导电率高、可见光透过率高、化学稳定性好以及与基体结合牢固等优点，广泛运用在平板液晶显示( LCD )、传感器、电致发光( ELD )以及功能玻璃等方面。ITO薄膜在产品应用中的主要性能指标体现为电阻率、透过率和功函数。

目前，ITO薄膜的制备方法主要有磁控溅射法、反应热蒸发法、金属有机物化学气相沉积法、喷雾热解发以及溶胶-凝胶法等，其中上述ITO薄膜制备方法中，发展最为成熟、且形成产业化的方法为磁控溅射法。但是，成本高、工艺条件苛刻等成为溅射法生产ITO薄膜的主要缺陷。喷雾热分解法和溶胶- 凝胶法这两种方法被认为有大规模低成本制备ITO 薄膜的潜力，但它们都具有自身的特点和缺陷，在实现产业化之前需要进一步的研究使其不断完善和改进。

发明内容

针对现有技术的缺陷，本发明的目的是提供一种用于触摸屏的ITO薄膜的制备方法，该方法工艺简单、成本较低，适合工业化生产。

本发明解决技术问题采用如下技术方案：

本发明提供了一种用于触摸屏的ITO薄膜的制备方法，包括以下步骤：

（1）铟盐、锡盐混合溶液的制备：将硝酸铟与硝酸铟质量10-15倍的有机溶剂A配置成溶液a，将醋酸锡与醋酸锡质量10-20倍的有机溶剂B配置成溶液b，溶液a与溶液b混合后，在30-35℃下保持400-600转/分钟搅拌25-40分钟得到铟盐、锡盐的混合溶液c；

（2）ITO溶液的制备：在铟盐、锡盐的混合溶液c中加入乙醇胺、脂肪酸单乙醇酰胺，在50-60℃下保持600-800转/分钟搅拌1-2小时后，冷却至室温得到均匀分散的ITO溶液；

（3）ITO薄膜的制备：在ITO溶液中加入乙烯基类硅烷偶联剂，25-35℃下搅拌30-50分钟，均匀涂覆在玻璃上，静置1-2小时后在65-80℃烘2-3小时即获得ITO薄膜。

优选地，所述步骤（1）中硝酸铟与醋酸锡的质量比例为3:1-5:1。

优选地，所述步骤（1）中的有机溶剂A选自乙醇、乙腈、四氢呋喃、2-氨基吡啶的任意一种。

优选地，所述步骤（1）中的有机溶剂B选自乙醇、乙腈、N，N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮的任意一种。

优选地，所述步骤（2）中的乙醇胺占铟盐、锡盐的混合溶液c的质量比例为3%-5%。

优选地，所述步骤（2）中的脂肪酸单乙醇酰胺占铟盐、锡盐的混合溶液c的质量比例为0.2%-0.8%。

优选地，所述步骤（3）中乙烯基类硅烷偶联剂占ITO溶液的质量比例为1%-3%。

优选地，所述步骤（3）ITO溶液中加入乙烯基类硅烷偶联剂后需要超声30-50分钟。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

本发明的用于触摸屏的ITO薄膜的制备方法，使用溶液法配制铟盐、锡盐的混合溶液，能够较精确地控制ITO薄膜中各组分的含量，与传统的ITO薄膜制备方法相比，无需高温、真空的条件，工艺较简单，采用乙醇胺作为稳定剂，脂肪酸单乙醇酰胺作为表面活性剂，成本较低，具有良好的工业化前景，优异的光学性能能够适用于很多电子设备如手机、电脑等的触摸屏的保护膜。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

实施例1.

本实施例的ITO薄膜的制备方法，包括以下步骤：

（1）铟盐、锡盐混合溶液的制备：将硝酸铟与硝酸铟质量10倍的乙醇配置成溶液a，将醋酸锡与醋酸锡质量10倍的乙腈配置成溶液b，溶液a与溶液b混合后，在30-35℃下保持400-600转/分钟搅拌25-40分钟得到铟盐、锡盐的混合溶液c；

（2）ITO溶液的制备：在铟盐、锡盐的混合溶液c中加入3%的乙醇胺、0.2%的脂肪酸单乙醇酰胺，在50-60℃下保持600-800转/分钟搅拌1-2小时后，冷却至室温得到均匀分散的ITO溶液；

（3）ITO薄膜的制备：在ITO溶液中加入3%的乙烯基类硅烷偶联剂，超声30分钟，25-35℃下搅拌30-50分钟，均匀涂覆在玻璃上，静置1-2小时后在65-80℃烘2-3小时即获得ITO薄膜。

实施例2.