[发明专利]静电放电分析的系统及方法

权利要求书

1.一种静电枪等效电路，用于等效一静电枪，其特征在于，包括：

一充电电路，通过一第一开关连接于一第一电源，所述第一电源对所述充电电路进行充电；

一放电电路，通过一第二开关连接于所述充电电路，并对一负载电路进行放电；

一第三开关，连接于所述第一开关和第二开关，用于控制所述第一开关和第二开关的断开与闭合。

2.如权利要求1所述的静电枪等效电路，其特征在于，所述充电电路包括：一第一电容和一第一电阻，所述第一电容的一端串联于所述第一电阻的一端，所述第一电容的另一端和所述第一电阻的另一端分别连接于所述第一开关的两端。

3.如权利要求1所述的静电枪等效电路，其特征在于，所述放电电路包括：一第二电阻和一第三电阻，所述第二电阻的一端和所述第三电阻的一端均连接于所述第二开关的一端，所述第二电阻的另一端接地，所述第三电阻的另一端连接所述负载电路。

4.如权利要求1所述的静电枪等效电路，其特征在于，所述第一开关包括一第一压控开关，所述第一压控开关包括：第一连接端、第二连接端、第一控制端和第二控制端，所述第一控制端和第二控制端分别连接于所述第三开关的两端，所述第一电源的两端分别连接于所述第一连接端和第二控制端，所述充电电路的两端分别连接于第二连接端和第二控制端，所述第二控制端接地。

5.如权利要求1所述的静电枪等效电路，其特征在于，所述第二开关包括一第二压控开关，所述第二压控开关包括：第一连接端、第二连接端、第一控制端和第二控制端，其中，所述充电电路的两端分别连接于所述第二压控开关的第一连接端和第二控制端，所述第三开关的两端分别连接于所述第一控制端和第二控制端，所述第二控制端接地，所述放电电路连接于所述第二连接端。

6.如权利要求1所述的静电枪等效电路，其特征在于，所述第一电源包括一脉冲电源，所述第三开关包括一压控电源。

7.一种负载电路，用于保护一被测芯片，其特征在于，包括：一第一静电保护电路、一第二静电保护电路以及一晶体管；其中，所述晶体管串联于所述被测芯片后分别与所述第一静电保护电路和第二静电保护电路并联。

8.如权利要求7所述的负载电路，其特征在于，所述晶体管包括一二极管，用以防止反向电压击穿所述被测芯片。

9.如权利要求7所述的负载电路，其特征在于，所述第一静电保护电路包括一静电保护电容，所述静电保护电容并联于所述第二静电保护电路。

10.如权利要求7所述的负载电路，其特征在于，所述第二静电保护电路包括：一第四电阻、一第五电路、一第六电阻以及一第三电容，所述第六电阻并联于所述第三电容，该并联电路与所述第五电阻串联，该串联电路与所述第四电阻并联。

11.一种静电放电的分析系统，其特征在于，包括：

一第一电源；

如权利要求1至6中任意一项所述的静电枪等效电路，连接于所述第一电源；以及

如权利要求7至10中任意一项所述的负载电路，连接于所述静电枪等效电路。

12.如权利要求11所述的静电放电的分析系统，其特征在于，所述第一电源包括脉冲电源，所述第一电源的电压值的范围为2KV～25KV。

13.一种使用权利要求11或12中所述的静电放电的分析系统对静电放电进行分析的方法，其特征在于，包括：

静电枪等效电路中的第三开关控制第一开关闭合的同时控制第二开关断开，第一电源对所述静电枪等效电路中的充电电路进行充电；

当所述充电电路的充电电压达到一预设电压时，所述第三开关控制所述第一开关断开的同时控制所述第二开关闭合，通过放电电路对负载电路进行放电。

14.如权利要求13所述的静电放电的分析方法，其特征在于，还包括：改变所述第一电源的电压值，获取被测芯片两端的电压值。