[发明专利]一种毛缝结合的仿生气体流速传感器有效
| 申请号： | 201710141128.3 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106872724B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张俊秋;陈思琪;陈道兵;陈文娜;宋洪烈;刘林鹏;张卡;牛士超;韩志武;王慧远;穆正知;李博;朱斌 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 长春市四环专利事务所(普通合伙) 22103 | 代理人： | 张建成 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 结合 仿生 气体 流速 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种毛缝结合的仿生气体流速传感器，其特征在于：是由嵌缝毛杆(1)、固定底座(2)、第一电极引线(3)和第二电极引线(4)构成，嵌缝毛杆(1)与固定底座(2)装配成一体，形成悬臂梁结构；左侧面(12)引出第一电极引线(3)，右侧面(13)分引出第二电极引线(4)，第一电极引线(3)和第二电极引线(4)均固定于固定底座(2)上，其中嵌缝毛杆(1)由弹性绝缘材料制成，嵌缝毛杆(1)上表面(11)、左侧面(12)和右侧面(13)均涂覆有导电材料层，右侧面(13)的导电材料层上水平方向加工有微纳狭缝(14)。
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