[发明专利]一种纳米金刚石的制备方法在审
申请号: | 201710129795.X | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN108529617A | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 韩少华;于晋京;张立;张久东;惠山 | 申请(专利权)人: | 上海启发电子科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/26 | 分类号: | C01B32/26;B82Y30/00 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 200333 上海市普*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微波沉积 石墨 纳米金刚石 汽化 室内 制备 加热 蒸汽 纳米金刚石颗粒 高纯惰性气体 制备技术领域 超声波分散 催化剂基体 绝对真空度 微波等离子 金刚石 惰性气体 混合气体 绝对压力 外加磁场 真空状态 超声波 摩尔比 室内壁 微波源 停留 | ||
本发明公开一种纳米金刚石的制备方法,属于金刚石制备技术领域。其包括真空状态下石墨的汽化,在绝对真空度低于100pa的真空度下,将石墨加热至石墨汽化,加热温度为3500‑5000℃;汽化后的石墨蒸汽同时加入高温高纯惰性气体,进行超声波分散,加入的惰性气体与石墨蒸汽的摩尔比为1:2‑4;在微波沉积室内,将混合气体进行微波等离子体化,同时在微波沉积室内加入超声波进行振动,微波沉积室内壁上设置有催化剂基体,在微波沉积室内停留0.5‑3小时,微波沉积室内的温度为3500‑4500℃,绝对压力150‑300pa,微波源的频率为0.5‑2GHz,同时外加磁场,从而得到纳米金刚石。本发明的一种纳米金刚石的制备方法,工艺简单,能够得到粒度小于100nm的纳米金刚石颗粒。
技术领域
本发明涉及一种纳米金刚石的制备方法,属于金刚石制备技术领域。
背景技术
金刚石在所有物质中具有最高的硬度,室温下有最高的热导率、极低的热膨胀系数、高化学惰性、大的禁带宽度、最高的声传播速率,以及从远红外光区到深紫外光区的高透明性等十分优异的性能,使得其具有广阔的应用前景。然而天然金刚石数量稀少,所以人们难以大规模地应用金刚石。高温高压制备的聚晶金刚石(PCD)由于含有金属催化剂,同时其尺寸有限,价格昂贵,因而人们也不能充分利用金刚石的上述优异性能。自从发明了化学气相沉积(CVD)法制备金刚石膜后,才使金刚石得以以工业化的规模在多个领域得到广泛应用。
纳米材料是纳米科技中最为活跃、最接近应用的重要组成部分。纳米材料的特性与其构成单元(1~100nm的微粒)的性质密切相关,它表现出了许多独特的性质和新的规律,如量子尺寸效应、小尺寸效应、表面效应、宏观量子隧道效应及介电阻域效应等,大量的结构缺陷和表面含氧官能团等,使其在开发具有特殊性能的新材料方面具有较大的潜力。纳米材料被称为“21世纪最有前途的材料”,纳米金刚石作为其中之一,它不仅拥有宏观尺寸金刚石卓越的物理和化学性能,例如高硬度,卓越的耐腐蚀性,具有纳米材料的各种特性,同时研究发现纳米级的金刚石还表现出很好的电化学性能,如宽电势窗口、低背景电流等,纳米金刚石材料的研究已成为各国学者研究的热点。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种纳米金刚石的制备方法,工艺简单,能够得到粒度小于100nm的纳米金刚石颗粒。
本发明通过以下技术手段解决上述技术问题:
本发明的一种纳米金刚石的制备方法,其包括以下步骤:
(1)真空状态下石墨的汽化,在绝对真空度低于100pa的真空度下,将石墨加热至石墨汽化,加热温度为3500-5000℃;
(2)汽化后的石墨蒸汽同时加入高温高纯惰性气体,进行超声波分散,加入的惰性气体与石墨蒸汽的摩尔比为1:2-4;
(3)在微波沉积室内,将混合气体进行微波等离子体化,同时在微波沉积室内加入超声波进行振动,微波沉积室内壁上设置有催化剂基体,在微波沉积室内停留0.5-3小时,微波沉积室内的温度为3500-4500℃,绝对压力为150-300pa,微波源的频率为0.5-2GHz,同时外加磁场,从而得到纳米金刚石。
微波沉积室内设置有真空泵接口,真空泵接口处设置有挡网,挡网的孔径为50-200nm。
所述高温高纯惰性气体为氩气、氦气、二氧化碳、氮气中的至少一种,温度为2500-4000℃。
所述催化剂基体为以二氧化钛为载体,吸附有钴镍金属单质的催化剂。
所述微波源上设置有波导,微波源的功率为5-10kw,微波源上设置有功率调节器。
所述外加磁场围绕在微波沉积室外壁上,磁场强度为10-200T。
本发明的有益效果是:工艺简单,能够得到粒度小于100nm的纳米金刚石颗粒。
具体实施方式
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