[发明专利]一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统

权利要求书

1.一种指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，包括：

上平台、下平台、六根驱动支腿；

所述六根驱动支腿中相邻两个驱动支腿相互垂直，所述六根驱动支腿按照Stewart平台形式安装；每个所述驱动支腿与所述上平台通过两个柔性铰链连接，且所述两个柔性铰链通过连接杆连接；

六根所述驱动支腿的结构相同，均包括：壳体；位于所述壳体内部的音圈电机，所述音圈电机为所述驱动支腿的动力源；位移传感器，用于测量所述驱动支腿的轴向位移，并将所述轴向位移反馈至控制系统，以使所述控制系统控制所述上平台的位姿，实现精确指向；

设置在所述上平台朝向所述下平台的表面上的六个加速度传感器，所述加速度传感器设置在所述驱动支腿的上方，且与所述驱动支腿一一对应设置，所述加速度传感器用于测量所述驱动支腿的运动加速度，并将所述运动加速度反馈至所述控制系统，以使所述控制系统控制所述音圈电机运动，实现振动隔离。

2.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述柔性铰链为圆柱体结构，且沿垂直于所述圆柱体的轴线的两个相对的方向上，在所述圆柱体上具有相互反向的活动间隙。

3.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，每个所述驱动支腿的壳体与所述下平台固定连接。

4.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述位移传感器为光栅尺。

5.根据权利要求4所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述光栅尺包括光栅尺板和光栅尺本体，所述光栅尺设置在所述驱动支腿的壳体上，所述光栅尺板设置在所述驱动支腿的壳体内的腔体内。

6.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置包括限位动板和限位定板，所述限位动板与所述上平台固定连接，所述限位定板与所述下平台固定连接。

7.根据权利要求6所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述限位装置内部为腔体结构，所述指向和隔振一体化多维并联平台还包括气浮装置，所述气浮装置设置在所述限位装置的腔体结构内。

8.一种指向和隔振一体化系统，其特征在于，包括权利要求1-7任意一项所述的指向和隔振一体化多维并联平台和控制系统，所述控制系统与所述指向和隔振一体化多维并联平台的加速度传感器和位移传感器相连，并根据所述加速度传感器测量得到的驱动支腿的运动加速度，控制所述驱动支腿内的音圈电机运动，实现振动隔离，以及根据所述位移传感器测量得到的所述驱动支腿的轴向位移，控制所述指向和隔振一体化多维并联平台的上平台的位姿，实现精确指向。