[发明专利]一种真空锁

说明书

技术领域

本发明涉及真空设备技术领域，特别涉及一种真空锁。

背景技术

真空设备都存在抽真空时间比较长，实验及生产效率比较低的问题，某些应用领域涉及到需要在真空功能室中通入危险气体、遇到某些气体导致工艺原料变质问题、某些工作气体遇到空气中的水会会变质问题等，为此需要配合真空功能室再做一个预真空室，使得样品从预真空室进出，而真空功能室不暴露大气，保持良好真空环境。这样，在预真空室与真空功能室间需要一个阀门，这个阀门可以开闭，打开时在保证样品有效在预真空室与真空功能室间传递的前提下，连接空间需要尽可能小，以减少气体扩散，并保证两个腔体连接尺寸尽可能小，有利于真空腔体设计，不至于因连接空间太大带来真空室的无效增大。

现有的预真空室与真空功能室连接，多采用两种方式。一种是采用真空插板阀进行连接，但由于真空插板阀是圆形开孔，连接面积太大，例如，为了传递Φ150mm(Φ6英寸)样品，需要使用标准Φ200mm(Φ8英寸)的插板阀，其连接部分的面积就会是31400cm²。

另一种是翻板式真空锁，由于翻板密封性不好，虽然可以通过旋转气缸施加力顶住翻板进行密封，但翻板要想密封良好，主要是通过预真空室与真空功能室的压差实现密封，当真空功能室需要通过辉光放电实现预定功能时，真空度一般为0.1Pa～0.001Pa之间，而预真空室也基本为0.1Pa～0.001Pa之间，双方压差很小，预真空室在0.1Pa～0.001Pa压力情况下，气体分子很少，不足以对翻板施加压力以便通过翻版进行密封，要想密封良好，必然让预真空室回到大气或准大气状态，在真空功能室工作完毕后，还要重新对预真空室抽真空，达到与真空功能室的真空平衡，再开启翻板，取出样品，这样就会减低整个生产效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种真空锁，以减少或避免前面所提到的问题。

为解决上述技术问题，本发明提出了一种真空锁，其包括一个壳体，所述壳体两侧设置有用于与真空腔室连通的通孔，所述壳体内设置有可上下滑动的锁身，所述锁身包括一块顶板，所述顶板两侧对称设置有密封板，所述顶板设置有多个凸出所述顶板表面的滚珠，所述密封板对应所述滚珠设置有多个圆锥形凹槽。

优选地，两个所述密封板之间设置有弹簧。

优选地，所述锁身设置有与所述壳体可滚动连接的导向轴承。

优选地，所述通孔和所述密封板、所述顶板均为矩形。

优选地，所述顶板的侧壁沿长度方向均布有四对所述滚珠，所述密封板的侧壁沿长度方向均布有四对所述圆锥形凹槽。

优选地，所述密封板设置有密封圈。

本发明所提供的一种真空锁，结构紧凑，密封性好，能对相邻的两个真空腔室提供有效密封，并且对真空腔室的开口形状适应性强。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中，

图1为根据本发明的一个具体实施例的一种真空锁的部分剖视原理示意图；

图2为图1的真空锁的立体分解结构原理示意图。

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式。其中，相同的部件采用相同的标号。

图1为根据本发明的一个具体实施例的一种真空锁的部分剖视原理示意图；图2为图1的真空锁的立体分解结构原理示意图。参见图1-2所示，本发明提供了一种真空锁，其包括一个壳体1，所述壳体1两侧设置有用于与真空腔室连通的通孔11，所述壳体1内设置有可上下滑动的锁身2，所述锁身2包括一块顶板21，所述顶板21两侧对称设置有密封板22，所述顶板21设置有多个凸出所述顶板21表面的滚珠211，所述密封板22对应所述滚珠211设置有多个圆锥形凹槽221。

本发明所提供的真空锁安装在两个真空腔室之间，例如可安装在背景技术提及的预真空室101和真空功能室102之间，所述壳体1分别与所述预真空室101和所述真空功能室102固定连接，且所述通孔11分别与所述预真空室101和所述真空功能室102的传送口(图中未示出)连通。

当所述锁身2在所述壳体1的内腔的下方时，所述预真空室101和所述真空功能室102之间连通，从而可进行物体传送。