[发明专利]真空吸附单元和真空吸附载台

权利要求书

1.一种真空吸附单元，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内限定出气路通孔，所述气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；

活塞，所述活塞可移动地设在所述气路通孔内且位于所述上止抵面和所述下止抵面之间，所述活塞的外周壁与所述气路通孔的内周壁滑动配合；

弹性件，所述弹性件的两端分别止抵在所述外壳和所述活塞上以常驱动所述活塞止抵在所述上止抵面上；

与所述气路通孔连通的泄压通道，所述泄压通道被构造成仅在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述泄压通道被关闭。

2.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述泄压通道设在所述活塞上，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述下止抵面封堵所述泄压通道。

3.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述泄压通道设在所述外壳内，所述泄压通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄压通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述活塞的侧壁封堵所述泄压通道的下端以关闭泄压通道。

4.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述外壳包括：

筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；

止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；

垫片，所述垫片设在所述止挡件的下表面上，所述弹性件设在所述活塞的下方且所述弹性件的下端穿过所述贯通孔止抵在所述垫片上。

5.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述外壳包括：

筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；

止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；

垫片，所述垫片设在所述筒体的内壁上且位于所述止挡件的上方，所述弹性件位于所述活塞的上方且所述弹性件的上下两端分别与所述垫片和所述活塞相连。

6.根据权利要求4或5所述的真空吸附单元，其特征在于，所述筒体包括：

中空的外套筒；

中空的内套筒，所述内套筒设在所述外套筒内且位于所述止挡件的上方，所述内套筒的外周壁和所述外套筒的内周壁之间限定出所述泄压通道，所述活塞可移动地设在所述内套筒内。

7.根据权利要求6所述的真空吸附单元，其特征在于，所述内套筒的内顶壁限定出所述上止抵面。

8.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述外壳的上端设有外螺纹。

9.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述气路通孔的下端的内周壁设有内螺纹。

10.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

11.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述泄压通道的横截面积保持不变。

12.一种真空吸附载台，其特征在于，包括：

基板载台，所述基板载台上设有真空吸槽；

真空吸附单元，所述真空吸附单元为根据权利要求1-11中任一项所述的真空吸附单元，所述真空吸附单元与所述真空吸槽配合连接。

13.根据权利要求12所述的真空吸附载台，其特征在于，所述真空吸槽为多个，所述真空吸附单元为多个且与多个所述真空吸槽一一对应配合连接。