[发明专利]配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统

权利要求书

1.一种配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统，包括：真空腔室、抽真空系统、旋转控制杆以及电子枪；

所述抽真空系统用于提供真空腔室高真空环境；

所述真空腔室设有观察窗以及腔室门，其内部还设置有样品台；所述腔室门上设置有给电子枪供电的双芯电极；

所述旋转控制杆穿过腔室门分为内外两部分，电子枪通过旋转控制杆内半部分固定于样品台上方，旋转腔室外侧的旋转控制杆外半部分即可改变电子枪发射电子注的角度；

所述抽真空系统包括一个抽系统低真空的机械泵，一个抽系统高真空的分子泵，以及用于控制机械泵和分子泵正常工作的控制平台；

所述观察窗为分别设置于真空腔室上、下、前、后的四个观察窗，上、下观察窗外部抵近有太赫兹时域光谱分析仪探头，用于探测并分析信号；

所述腔室门上还设置有一个六芯电极，用于外加电源对样品施加调制电压，并结合法拉第杯测量电子注束流大小。

2.如权利要求1所述的一种配套检测样品在电子注激励下产生光谱特性的实验系统，其特征在于：所述电子枪包括：镀有陶瓷的导线、阴极接线柱、电子枪上极板、金属支撑杆、钼筒、陶瓷柱、阴极和开孔阳极板；钼筒内部设置有阴极并固定于电子枪上极板背面，所述开孔阳极板通过陶瓷柱和上极板连接，且开孔位置和阴极发射面的中心位于同一轴线上；

所述电子枪上极板和开孔阳极板为无氧铜材料，阴极为固定于钼筒内部的钡钨阴极，钼筒固定在电子枪上极板下方；阴极上部设置的两个阴极接线柱上分别焊接有镀有陶瓷的导线，两根导线的另一端分别连接到双芯电极的两个金属电极上，外加调制电源通过双芯电极即可对阴极进行加热并提供加速电压，从而实现电子枪发射电子。