[发明专利]无定形激光剥蚀池

权利要求书

1.一种无定形激光剥蚀池，包括密闭腔体，其特征在于：所述腔体由钟形TP罩壳和TP罩壳底部开口处的底座组成，所述TP罩壳顶部设有通孔，通孔边缘设有包边，透明观察窗通过过盈配合嵌在TP罩壳顶部的包边内，所述观察窗的中心设有一圆形通孔，通孔内镶嵌有一圆饼状氟化钙窗口，所述氟化钙窗口与通孔之间通过O型密封圈密封固定，观察窗上设有进样孔道，进样孔道内安装有密封球，局部提取管穿插于所述密封球的中心内孔并沿局部提取管的轴向前后活动；所述底座的上表面为凹陷结构，其凹陷中置有样品定位盘；样品定位盘上表面设有一组定位销沉孔，其中至少一个定位销沉孔中放置有定位销组件，所述定位销组件由一个以上上下首尾连接的定位销组成，所述定位销的一端为圆头，另一端为与圆头匹配的定位沉孔，最下端的定位销直接插于样品定位盘的定位销沉孔中；所述底座侧壁设有载气进气口和载气排气口，所述样品定位盘下方位于其一条直径的两端位置分别设有一个磁铁，底座的凹陷相应位置各设有一个磁铁。

2.根据权利要求1所述的无定形激光剥蚀池，其特征在于：所述进样孔道内的密封球数量为2个。

3.根据权利要求1所述的无定形激光剥蚀池，其特征在于：一组所述定位销组件以样品定位盘的中心呈放射状均匀分布于样品定位盘的表面。

4.根据权利要求1所述的无定形激光剥蚀池，其特征在于：所述TP罩壳和底座之间设有密封固定环。

5.根据权利要求1所述的无定形激光剥蚀池，其特征在于：所述TP罩壳底部设有包边，所述底座侧壁外设有两个用于固定所述包边结构的定位槽以及一个用滚花手拧螺丝固定的固定卡扣，所述固定卡扣至两个定位槽的距离相同。

6.根据权利要求1所述的无定形激光剥蚀池，其特征在于：所述底座侧壁设有1个载气进气口和3个载气排气口，相邻的载气排气口以及相邻的载气进气口和载气排气口距离相同。