[发明专利]探针卡盒和探针卡输送方法

权利要求书

1.一种探针卡输送件，其特征在于：

所述探针卡可安装于晶片检查装置，具有绝缘性基板，该绝缘性基板具有探针，为了进行形成于半导体晶片上的半导体器件的电检查而使该探针与半导体晶片上的电极极板接触，

所述探针卡输送件包括：

顶板部，其具有与探针卡的一个面相对的第1面和与所述第1面相反侧的第2面，其中，所述探针卡的一个面是与所述探针卡的探针设置面相反侧的面；和

探针卡固定机构，其配置在所述顶板部，通过从所述顶板部的第2面侧进行的操作，能够将所述探针卡固定在所述顶板部，并且能够从所述顶板部解除所述探针卡，

所述探针卡在其被固定在所述顶板部的状态下被输送，

所述探针卡被从所述顶板部解除而安装于所述晶片检查装置。

2.如权利要求1所述的探针卡输送件，其特征在于：

所述顶板部从所述第1面侧的周缘部延伸，具有包围所述探针卡的侧壁部。

3.如权利要求1所述的探针卡输送件，其特征在于：

所述探针卡固定机构是贯通所述顶板部的翼形螺钉，所述翼形螺钉具有在所述第1面侧与所述探针卡螺合的螺纹部和配置在所述第2面侧的翼部。

4.如权利要求2所述的探针卡输送件，其特征在于：

在所述顶板部的所述侧壁部具有用于输送的把手。

5.如权利要求1至4中任一项所述的探针卡输送件，其特征在于：

所述探针卡输送件至少一部分为透明，能够隔着所述探针卡输送件目视所述探针卡。