[发明专利]光扫描器用部件、光扫描器及其制造方法、图像显示装置

说明书

本发明提供在进行用于形成光反射部的成膜时能够抑制限制成膜区域的掩模与配线接触的光扫描器用部件、光扫描器及其制造方法、图像显示装置。本发明的光扫描器用部件具备：功能部，包括可动部、将可动部支承为能够摆动的轴部和支承轴部的支承部；配线，在将功能部的互为表面和背面的关系的两个主面设为第一主面和第二主面时，设于可动部的第一主面；以及结构体，设于功能部的第一主面，并比配线厚。

技术领域

本发明涉及光扫描器用部件、光扫描器、光扫描器的制造方法、图像显示装置以及头戴式显示器。

背景技术

作为用于投影仪、头戴式显示器等的光扫描单元之一，已知有光扫描器(例如参照专利文献1)。

专利文献1中记载的摆动体装置具备可动板、梁、以及支承基板。支承基板通过梁来支承可动板，可动板可以自由振动。并且，在可动板的第一面设置有用于反射光的光反射面。通过摆动体装置使可动板二维地振动，能够使在光反射面反射的光偏转。

而且，在可动板与梁的第一面的局部上配置有测定希望的检测物理量的传感器。使用传感器检测出的物理量被转换为电信号，并能够经由配线从检测用电极垫来检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-170565号公报

在如专利文献1所记载的进行光偏转的摆动体装置中，多在可动板的第一面进行金属膜的成膜来形成光反射部。金属膜通过溅射、蒸镀这样的气相成膜法成膜。在气相成膜法中，为对目标区域选择性地成膜，使用掩模来限制成膜区域。

然而，在将掩模配置于第一面上时，掩模会和配线接触，往往会对配线造成不良影响。

发明内容

本发明的目的在于，提供在进行用于形成光反射部的成膜时能够抑制限制成膜区域的掩模(mask)与配线接触的光扫描器用部件、具备这种光扫描器用部件的光扫描器及其制造方法、以及具备所述光扫描器的图像显示装置和头戴式显示器。

这样的目的通过下述的本发明来实现。

本发明的光扫描器用部件，其特征在于，具备：功能部，包括可动部和支承部，所述支承部以使所述可动部能够摆动的方式支承所述可动部；配线，设于所述可动部；以及结构体，设于所述功能部，并比所述配线厚，其中，所述配线和所述结构体设于所述功能部的第一主面。

根据这样的光扫描器用部件，由于设有比配线厚的结构体，因此，在为了在可动部的第一主面形成光反射部而对光扫描器用部件进行成膜时，能够抑制限制成膜区域的掩模与配线接触。

在本发明的光扫描器用部件中，优选地，所述结构体设于所述可动部。

由此，能够使结构体与配线的距离靠近，因此，即使假设掩模发生挠曲等，也能够降低掩模与配线接触的概率。

在本发明的光扫描器用部件中，优选地，所述结构体设于所述支承部。

由此，可设置多个结构体、或者设置更大的结构体，因此，能够增多掩模与结构体之间的触点数、或扩大接触面积。其结果，能够更稳定地保持掩模，并能以更高的精度使光反射部成膜。

在本发明的光扫描器用部件中，优选地，所述配线是线圈。

由此，通过使电流流过配线，能够产生用于使可动部摆动的驱动力。

在本发明的光扫描器用部件中，优选地，所述结构体的构成材料是金属材料或树脂材料。

如果是树脂材料，则由于能够比较简单地形成结构体，从而可实现低成本化，如果是金属材料，则由于能够形成刚性高的结构体，从而可得到即便与掩模接触也难以受损的结构体。