[发明专利]固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器

权利要求书

1.一种固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于该相位检测器由六端口固支梁耦合器（1）、微波相位检测模块（2）、第一间接加热式微波功传感器（3-1）和第二间接加热式微波功传感器（3-2）级联构成；其中，六端口固支梁耦合器（1）的第一端口（1-1）到第三端口（1-3）、第四端口（1-4）以及第一端口（1-1）到第五端口（1-5）、第六端口（1-6）的功率耦合度分别相同，待测信号经六端口固支梁耦合器的第一端口（1-1）输入，由第三端口（1-3）和第五端口（1-5）分别输出到第一间接加热式微波功率传感器（3-1）和第二间接加热式微波功率传感器（3-2），由第四端口（1-4）和第六端口（1-6）输出到微波相位检测模块（2），由第二端口（1-2）输出到下级处理电路，参考信号经T型结功率分配器(5)分成两路功率和相位相同的信号，分别与第四端口(1-4)和第六端口(1-6)的两路待测信号经第一T型结功率合成器(4-1)和第二T型结功率合成器(4-2)进行功率合成；第三间接加热式微波功率传感器（3-3）和第四间接加热式微波功率传感器（3-4）对左右两路合成后的功率Pcs1，Pcs2进行检测；

其中，六端口固支梁耦合器（1）的结构以其中心线左右对称设置，由共面波导（8），介质层（10），空气层（12）和固支梁（11）构成；共面波导（8）制作在SiO2层（7）上，SiO2层（7）制作在Si衬底（6）上，固支梁（11）的锚区（9）制作在共面波导（8）上，固支梁（11）的下方沉积介质层（10），并与空气层（12）、固支梁（11）共同构成耦合电容结构，两个固支梁（11）之间的共面波导（8）长度为λ/4。

2.如权利要求1所述的固支梁T型结间接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于间接加热式微波功传感器（3）由Si衬底（6），SiO2层（7），共面波导（8），终端电阻（14），P型半导体臂（15），N型半导体臂（16），输出电极（17）构成；微波功率通过共面波导（8）输入到终端电阻（14）被转化成热量；P型半导体臂（15）和N型半导体臂（16）构成热电偶，热电偶靠近终端电阻（14）区域作为热端（18），靠近输出电极（17）区域作为冷端（19）。