[发明专利]一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法

权利要求书

1.一种基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：其包括以下步骤：

S1、利用FRAM对工艺规程进行建模：确定工艺规程的活动子模块，对活动子模块进行变异以及变异的耦合分析，根据分析结果进行建模；

S1中利用FRAM对工艺规程进行建模具体包括：

S11、采用有限状态机进行规约，得到FSM模型；

S12、用promela对以上的到的FSM模型进行描述，得到promela模型；

S13、将得到的promela模型和约束条件输入SPIN的界面进行验证，得到多条不期望事件发生路径；

S2、建立基于FRAM的工艺规程风险评价方法：通过模型检测对所建模型进行分析，得到不期望事件的发生路径，根据路径中变异传播的方式识别路径中的关键工艺活动，根据关键工艺活动呈现的变异状态识别工艺规程中存在的相关缺陷；

S3、针对工艺规程中存在的相关缺陷提出工艺规程改进方案：基于消除发生路径的目的，从抑制或消除路径中关键工艺活动变异的角度提出工艺规程改进方案；

S4、对工艺规程改进方案进行验证：计算工艺规程改进方案的有效性Z，当工艺规程改进方案的有效性Z小于0时，判定为工艺规程改进方案有效，且绝对值越大表示改进越有效，相反则判定为改进方案无效，工艺规程改进方案的有效性Z的计算公式如下：

其中，A为改进后工艺规程不期望事件的发生路径的数量，A°为改进前工艺规程不期望事件的发生路径的数量。

2.根据权利要求1所述的基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：工艺规程改进方案包括工艺活动替换、工艺活动分隔细化、进一步全面具体化描述工艺活动以及增加必须的工艺活动。

3.根据权利要求2所述的基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：S13还包括对各条发生路径进行仿真，并识别各条发生路径中的关键活动。

4.根据权利要求2所述的基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：S11中有限状态机模型表述为，FSM＝(Σ,F,Q,S0,Δ)，其中：

Σ是系统所有可能的输入集合；F是系统所有可能的输出集合；Q是系统所有可能的状态集合,其中，F∈S；S0是系统所有可能的初始状态集合，S是系统所有可能的状态集合，其中，S0∈S；Δ是状态转移函数集合，具体描述了系统状态之间的转换，Δ为Q×Σ→Q。

5.根据权利要求4所述的基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：FRAM中对活动子模块进行描述包括输入、输出、前提、资源、控制及时间。

6.根据权利要求3所述的基于FRAM的工艺规程风险评价方法，其特征在于：S4还包括对改进后工艺规程重复步骤S1-S3，识别改进后工艺规程不期望事件发生路径的数量。