[发明专利]双转盘式显微扫描结构

说明书

本发明双转盘式显微扫描结构属于显微测量技术领域，具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构；该结构包括第一转盘和第二转盘；第一转盘沿半径方向开有通槽，第二转盘开有螺旋形状的通槽，第一转盘通槽和第二转盘通槽的组合，形成通光孔；第二转盘相对于第一转盘转动，能够改变径向照明角度；第二转盘和第一转盘整体转动，能够改变轴向照明角度；本发明双转盘式显微扫描结构，针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构，提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构，实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。

技术领域

本发明双转盘式显微扫描结构属于显微测量技术领域，具体涉及一种用于椭球反射照明显微测量装置中的扫描机构。

背景技术

基于椭球反射镜照明的显微测量装置，采用大数值孔径的椭球反射镜，并且椭球反射镜的远焦点与照明物镜的焦点重合，此处提供照明光源，近焦点处放置实验样品，即可获得前向与后向的大角度照明。利用椭球反射镜照明获得前向与后向的大角度照明，能够有效地克服显微系统分辨力受数值孔径限制的不足，大幅度提高系统的横向分辨力及轴向分辨力，具有广阔的应用前景。

在显微测量技术领域，扫描照明的技术手段被广泛采用，椭球反射照明显微测量装置也不例外。不仅如此，扫描装置还是椭球反射照明显微测量装置中重要组成部分。由于椭球反射镜照明方式的特殊性，需要将扫描装置置于显微测量装置的内部，因此传统的振镜或转镜等设置在显微测量装置外部的扫描方式无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中。

发明内容

为了解决传统振镜或转镜扫描结构无法直接应用到椭球反射照明显微测量装置中的问题，本发明公开了一种双转盘式显微扫描结构，针对椭球反射照明显微测量装置的特殊结构，提供了一种能够置于显微测量装置内部的扫描机构，实现了径向30至120度的扫描范围以及轴向360度的扫描范围。

本发明的目的是这样实现的：

双转盘式显微扫描结构，包括第一转盘和第二转盘；

所述第一转盘沿半径方向开有通槽，所述第二转盘开有螺旋形状的通槽，所述螺旋形状绕圆心旋转一周，始端和终端位于同一半径上，第一转盘通槽和第二转盘通槽的组合，形成通光孔；

所述第一转盘和第二转盘均由磁性材料制作而成，异名磁极相对设置；第一转盘和第二转盘的对向均设置有环形凹槽，凹槽内部安装有滚珠，所述滚珠的相对位置由支架固定；利用异性相吸的原理，滚珠被夹持在第一转盘和第二转盘中间；

第二转盘相对于第一转盘转动，能够改变径向照明角度；第二转盘和第一转盘整体转动，能够改变轴向照明角度。

上述双转盘式显微扫描结构，第二转盘相对于第一转盘转动，第二转盘和第一转盘整体转动，通过以下结构实现：

所述第一转盘和第二转盘上下放置，在第一转盘中间设置有截面为倒梯形的通孔，通孔内表面为磨砂面，在第二转盘中间设置有多边形通孔，第二转盘底部对称设置有两个伸缩杆，伸缩杆底部安装电机，所述电机的转轴连接转动机构，所述转动机构的下端为棱柱体，截面形状与多边形通孔截面形状一致，上端为圆台，与第一转盘的通孔相配合，所述圆台的侧面为磨砂面；

在伸缩杆缩回时，转动机构同时插入第一转盘和第二转盘的通孔中，利用转动机构下端与第二转盘通孔的配合关系，以及转动机构上端与第一转盘通孔内表面的摩擦力，实现带动第一转盘和第二转盘共同旋转；

在伸缩杆伸出时，转动机构上端与第一转盘通孔相分离，转动机构与第一转盘无作用，实现只带动第二转盘转动。

有益效果：

第一、本发明通过旋转第一转盘和第二转盘，利用第一转盘和第二转盘上通槽位置的组合来改变通光孔位置，进而实现扫描，提供了一种全新的扫描技术手段。