[发明专利]分析装置和分析方法

权利要求书

1.一种分析装置，其利用从光源输出的测量光对测量对象气体进行分析，

所述分析装置的特征在于，所述分析装置包括：

基准气体填充空间，其形成在所述测量光的光路上，以预先确定的第一浓度填充有与所述测量对象气体不同的基准气体；

光谱生成部，其生成将检测光的波长和所述检测光的相对强度取得关联而得到的实测光谱数据，所述检测光是通过了所述基准气体填充空间的所述测量光；以及

光谱比较部，其计算基准吸收光谱数据和所述实测光谱数据的差异，所述基准吸收光谱数据通过直接吸收法预先实测所述第一浓度的所述基准气体的吸收光谱而得到。

2.根据权利要求1所述的分析装置，其特征在于，所述光谱生成部基于未由所述基准气体进行吸光时的所述测量光的强度和所述检测光的强度的关系，计算所述检测光的相对强度。

3.根据权利要求1或2所述的分析装置，其特征在于，

所述光谱生成部生成分析用光谱数据，所述分析用光谱数据是将分析检测光的波长和该分析检测光的相对强度取得关联而得到的数据，用于所述测量对象气体的分析，所述分析检测光是通过了存在有所述测量对象气体的区域的所述测量光，

利用使所述实测光谱数据的所述检测光的相对强度的峰值强度与所述基准吸收光谱数据的对应的吸收峰值的吸光度一致的强度变化函数，修正所述分析检测光的相对强度。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的分析装置，其特征在于，

所述光谱生成部生成分析用光谱数据，所述分析用光谱数据是将分析检测光的波长和该分析检测光的相对强度取得关联而得到的数据，用于所述测量对象气体的分析，所述分析检测光是通过了存在有所述测量对象气体的区域的所述测量光，

利用使所述实测光谱数据的所述检测光的相对强度的峰值位置与所述基准吸收光谱数据的对应的吸收峰值位置一致的波长变化函数，计算所述分析用光谱数据的所述分析检测光的波长。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的分析装置，其特征在于，

所述分析装置还包括：

光源控制部，边使控制所述测量光的强度和/或波长的测量光控制信号在规定的信号值范围内随时间变化边向所述光源输出所述测量光控制信号；以及

实测数据取得部，测量所述检测光的强度，并且将该检测光的强度和测量该检测光的强度时的所述测量光控制信号取得关联并生成实测数据，

所述光谱生成部根据所述实测数据生成所述实测光谱数据。

6.根据权利要求5所述的分析装置，其特征在于，当所述基准吸收光谱数据和所述实测光谱数据的差异成为了规定的值以上时，所述光源控制部将所述测量光控制信号的所述信号值范围从当前的信号值范围改变。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的分析装置，其特征在于，所述分析装置还包括基准气体导入部，所述基准气体导入部向所述基准气体填充空间导入所述基准气体。

8.根据权利要求1～7中任意一项所述的分析装置，其特征在于，所述测量对象气体是水分、一氧化碳、二氧化碳、氧气、氯化氢、氟化氢、硫化氢、溴化氢、氨气、氮氧化物、四甲基铟或三甲基镓中的任意一种。

9.根据权利要求1～8中任意一项所述的分析装置，其特征在于，所述基准气体是水分或烃气。

10.一种分析方法，其利用从光源输出的测量光对测量对象气体进行分析，

所述分析方法的特征在于，

所述分析方法包括如下步骤：

在测量光的光路上形成基准气体填充空间的步骤，所述基准气体填充空间以预先确定的第一浓度填充有与所述测量对象气体不同的基准气体；

生成将检测光的波长和所述检测光的相对强度取得关联而得到的实测光谱数据的步骤，所述检测光是通过了所述基准气体填充空间的所述测量光；以及

计算基准吸收光谱数据和所述实测光谱数据的差异的步骤，所述基准吸收光谱数据通过直接吸收法预先实测所述第一浓度的所述基准气体的吸收光谱而得到。