[发明专利]一种超纯水生产系统

说明书

技术领域

本发明涉及水处理领域，尤其涉及一种超纯水生产系统。

背景技术

超纯水是纯度极高的水，其既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，超纯水的电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm极限值。其一般用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

超纯水一般的工艺处理比较难以实现，目前超纯水的工艺包括以下几种方式：

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(传统工艺)；

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥18MΩ.CM）(最新工艺)；

3、预处理→一级反渗透→加药机（PH调节）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥17MΩ.CM）(最新工艺)；

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象（≥15MΩ.CM）(最新工艺)。

上述各种工艺采用的设备均比较多，整个系统的占地面积较大。

发明内容

针对上述技术问题，本发明的目的是提供一种占地面积较小的、节省设备投资和运行费用的超纯水生产系统。

本发明的技术方案如下：

一种超纯水生产系统，其由以下设备组成：

原水箱；

预处理装置；所述预处理装置通过原水泵与所述原水箱连通；

一级反渗透处理装置；所述一级反渗透处理装置与所述预处理装置通过第一高压泵连通；

一级纯水箱，所述一级纯水箱与所述一级反渗透处理装置的出水管路连通；

二级反渗透处理装置，所述二级反渗透处理装置与所述一级纯水箱通过第二高压泵连通；

EDI处理装置，所述EDI处理装置与所述二级反渗透处理装置直接连通；以及

超纯水箱，所述超纯水箱与所述EDI处理装置的出水管路连通。

其中，所述一级反渗透处理装置包括一级一段反渗透膜堆和一级二段反渗透膜堆，所述一级一段反渗透膜堆的浓水出口与所述一级二段反渗透膜堆的进水口连通。

其中，所述一级一段反渗透膜堆和所述一级二段反渗透膜堆的膜的数量比为2:1。

其中，所述二级反渗透处理装置包括二级一段反渗透膜堆和二级二段反渗透膜堆，所述二级一段反渗透膜堆的浓水出口与所述二级二段反渗透膜堆的进水口连通。

其中，所述二级一段反渗透膜堆和所述二级二段反渗透膜堆的膜的数量比为3:1。

其中，所述超纯水系统还包括安装专用机架，所述安装专用机架包括：

第一水平支架，所述第一水平支架为由第一边横杆、第一边竖杆、第二边横杆和第二边竖杆首尾依次连接形成的矩形框架；

第二水平支架，所述第二水平支架为由第三边横杆、第三边竖杆、第四边横杆和第四边竖杆首尾依次连接形成的矩形框架，所述第二水平支架位于所述第一水平支架的上方，且所述第二水平支架的框架面积小于所述第一水平支架的框架面积；以及

四根垂直竖杆，所述四根垂直竖杆的一端固定在所述第二水平支架的角上；所述四根垂直竖杆的另一端固定在所述第一水平支架上；

其中所述一级反渗透处理装置和所述二级反渗透处理装置平行排列固定在所述第一水平支架和所述第二水平支架之间。

进一步的，所述第一高压泵、第二高压泵、一级纯水箱和所述EDI处理装置均安装在所述一级反渗透处理装置和二级反渗透处理装置的侧面。

进一步的，在所述第一水平支架上还设置有若干中间横杆和中间竖杆，所述第一高压泵、第二高压泵和所述EDI处理装置通过所述中间横杆和/或中间竖杆安装在所述第一水平支架上。

进一步的，在所述第一水平支架的上方还设置有第三水平支架，所述第三水平支架与所述第二水平支架在所述水平面上的投影互不干涉，所述一级纯水箱安装在所述第三水平支架上。

进一步的，所述预处理装置包括依次连通的多介质过滤器、活性炭过滤器、软化器和精密过滤器。

本发明的有益效果是：