[发明专利]承载装置和涂胶设备

权利要求书

1.一种承载装置，包括用于承载基板的承载台，所述承载台内设置有多个贯穿所述承载台的气体通道；其特征在于，至少一部分所述气体通道内设置有滚珠，所述承载装置还包括驱动机构，用于驱动所述滚珠朝向所述气体通道的顶部移动，以将所述承载台上的基板撑起，且撑起所述基板的滚珠能够在所述气体通道的顶部任意转动；

所述驱动机构包括吹气结构，所述吹气结构包括与所述气体通道连通的气孔，所述吹气结构用于通过其气孔向所述气体通道吹气，以通过气流将所述滚珠顶起，所述气体通道包括同轴设置的第一通道部和第二通道部，所述第一通道部的底端与所述第二通道部的顶端相连，所述滚珠位于第一通道部内，所述第二通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述第一通道部的顶端直径小于所述滚珠的直径，且所述滚珠的一部分能够从所述第一通道部的顶端开口露出。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述第一通道部的内径由所述第一通道部的顶端至预定位置处逐渐增大，所述预定位置处的内径大于所述滚珠的直径，所述预定位置位于所述第一通道部顶端与所述第一通道部底端之间；

所述承载台的表面还形成有凹槽，所述凹槽用于将每相邻两个气体通道的第一通道部连通。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述承载台包括第一本体和与所述第一本体可拆卸地连接的多个第二本体，所述第二本体与所述气体通道一一对应，所述第一通道部从其顶端至所述预定位置的部分贯穿所述第二本体，所述第一通道部的其余部分和所述第二通道部贯穿所述第一本体。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述吹气结构包括离子风机。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的承载装置，其特征在于，每个所述气体通道内均设置有所述滚珠。

7.根据权利要求1至5中任意一项所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括设置在所述承载台上的位置检测器件和对位组件，所述位置检测器件用于检测基板的边缘位置；所述对位组件用于根据所述基板的边缘位置移动所述基板，以使所述基板位于预定区域内。

8.一种涂胶设备，其特征在于，包括权利要求1至7中任意一项所述的承载装置。