[发明专利]进行聚合物膜分层的方法

说明书

公开了使聚合物膜与承载板分层的方法和装置。承载板为至少部分透明的并且其上沉积了吸光材料的像素化图案层，在所述像素化图案层上沉积一层反光材料。待分层的聚合物膜沉积在反光材料层上。接着，使用脉冲光源从与聚合物膜相反的面通过承载板照射以加热吸光材料层。吸光材料层的被加热区域又通过吸光材料层与聚合物膜之间的界面上的传导而加热聚合物膜，由此通过其热分解而由聚合物膜产生气体，这使聚合物膜从承载板上释放。

发明背景

1.技术领域

本发明整体上涉及热方法，特别是进行聚合物膜分层(delamination)的方法。

2.相关技术描述

许多类型的印刷电子结构可沉积在聚合物基材上。印刷具有对齐层(registeredlayer)和/或具有良好限定的厚度的高分辨率电子结构的一种方法是将各个层沉积在非常平坦的表面上。这可通过将聚合物膜沉积在刚性的平坦承载板(基材)如玻璃上，然后在聚合物膜上形成随后的层而进行。在形成电子结构以后，必须将聚合物膜从承载板上除去。

发明概述

根据本发明的一个优选实施方案，首先将吸光材料的像素化图案层(pixelatedpattern layer)沉积在承载板上，然后将反光材料层沉积在吸光材料层上。待分层的聚合物膜沉积在反光材料层上。接着，使用脉冲光源从与聚合物膜相反的面通过承载板照射以加热吸光材料层。吸光材料层的被加热区域又通过承载板叠层与聚合物膜之间的界面上的传导而加热聚合物膜，由此通过其热分解而由聚合物膜产生气体，这使聚合物膜从承载板上释放。

任选地，可将表面张力受控的释放层(surface tension controlled releaselayer)沉积在反光材料层上。在聚合物膜以前也可沉积动态释放层。

承载板可由玻璃或石英构成。聚合物膜可由聚酰亚胺构成。表面张力受控的释放层可由陶瓷如氮化硅或二氧化硅构成。

本发明的所有特征和优点在以下详细书写的描述中获悉。

附图简述

在连同附图阅读时，本发明本身以及其优选的使用模式、其它目的和优点通过参考下文对说明性实施方案的详细描述而最好地理解，其中：

图1A-1B阐述根据第一实施方案的进行聚合物膜选择性分层的方法；

图2显示从顶部看见的吸光材料和反光材料的图案；和

图3A-3B阐述根据第二实施方案的进行聚合物膜选择性分层的方法。

优选实施方案详述

将聚合物膜从承载板上除去的一种方法是在沉积聚合物膜以前首先将热释放层沉积在承载板上。在聚合物膜上形成电子结构以后，将整个组件(承载板、热释放层、聚合物膜和电子结构)加热至足以使热释放层释放聚合物膜的温度。该方法的一个缺点是形成电子结构所需的加工温度必须比热释放层的释放温度更低。

将聚合物膜从承载板上除去的另一方法是在308nm使用脉冲准分子激光器(pulsed excimer laser)如XeFl。来自准分子激光器的激光束照耀通过承载板侧并聚焦在聚合物膜与承载板之间的界面上。该方法产生微量的气体，所述气体在聚合物膜与承载板之间的界面上将聚合物膜分层。由于分层的面积是非常小的(约1mm²)，激光束可脉冲并扫描以将较大的面积分层。该方法的第一缺点是准分子激光器倾向于是非常昂贵的，第二个缺点是该方法与其它方法相比产量非常低。