[发明专利]衬底组件和相关方法

说明书

公开了用于微流体设备的示例传感器装置和相关方法。在本文所公开的示例中，一种制作用于微流体设备的传感器装置的方法包括蚀刻中间层的部分以形成衬底组件中的传感器腔体，其中衬底组件具有基底层和中间层，并且其中基底层包括第一材料，并且中间层包括不同于第一材料的第二材料。该方法包括在传感器腔体中形成第一电极和第二电极。该方法还包括形成与传感器腔体流体连通的流体输运通道，其中流体输运通道包括不同于第一材料和第二材料的第三材料。

背景技术

诸如例如流体喷射系统(例如喷墨墨盒)、微流体生物芯片等之类的微流体系统通常采用微流体装置(或设备)。微流体装置可以使得能够操纵和/或控制小体积的流体通过微流体系统的微流体流体通道或网络。例如，微流体设备可以使得能够在微升(即符号化为μl并且表示10-6升的单位)、纳升(即符号化为nl并且表示10-9升的单位)或皮升(即符号化为pl并且表示10-12升的单位)的量级上操纵和/或控制流体体积。

附图说明

图1是依照本文所公开的教导构造的具有示例传感器装置的示例微流体系统的框图。

图2A是依照本公开的教导构造的具有示例传感器装置的示例微流体设备的平面视图。

图2B描绘了沿线2B-2B取得的图2A的示例微流体设备的截面视图。

图2C描绘了沿线2C-2C取得的图2A的示例微流体设备的截面视图。

图3是图2A-2C的示例微流体设备的透视图。

图4是图示了形成本文所公开的示例传感器装置的示例方法的流程图。

图5是图示了形成本文所公开的示例传感器装置的示例方法的另一流程图。

图6-19描绘了制造图2A-2C和3的示例传感器装置的示例方法的各阶段处的设备。

图20是能够执行机器可读指令的示例处理器平台的框图，所述机器可读指令用于实现图4-19的示例方法或过程以形成依照本公开的教导的示例微流体设备。

在任何可能的情况下，将贯穿(多个)图和随附的书面描述而使用相同的参考标记来指代相同或相似的部分。

具体实施方式

在以上标识的图中示出并且在以下详细描述某些示例。各图不是按比例的，并且可能为了清楚和/或简洁而在尺度上夸大或示意性地示出各图的某些特征和某些视图。此外，为了清楚起见，已经从(多个)图中的一些移除本文所公开的示例微流体装置的一些部件。尽管下文公开了示例方法和装置，但是应当指出的是，这样的方法和装置仅仅是说明性的，并且不应当被视为限制本公开的范围。

如本文所使用的，参照所描述的图的取向而使用方向术语，诸如“上”、“下”、“顶”、“底”、“前”、“后”、“前导”、“尾随”、“左”、“右”等。由于本文所公开的各种示例的部件可以以数个不同的取向定位，因此方向术语用于说明目的并且不意图是限制性的。

微流体设备通常由微流体系统用于使得能够操纵流体(例如液体、生物流体等)通过具有流体通道的流体网络，流体通道具有范围从几纳米到数百微米的截面尺寸。为了确定关于生物样品的信息，微流体生物芯片，通常称为“片上实验室”系统，采用微流体设备来输运和/或操纵流体(例如生物样品)通过例如传感器或分析器(例如生物传感器或生物电传感器)。例如，微流体设备采用定位在流通道的网络中的传感器，该流通道流体耦合流体网络的第一部分(例如第一储液器或入口)和流体网络的第二部分(例如第二储液器或出口)以便在流体流过传感器时分析流体。