[发明专利]磁传感器有效
申请号: | 201680083114.4 | 申请日: | 2016-10-20 |
公开(公告)号: | CN108700637B | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 田边圭 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01R33/02 | 分类号: | G01R33/02;G01R33/09;H01L43/08 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;陈明霞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 | ||
本发明提供一种磁传感器,通过使磁通更大地弯曲来提高磁检测灵敏度的磁传感器。本发明的磁传感器具备:位于分离第1空间(S1)和第2空间(S2)的平面(P)的磁检测元件(MR1、MR2)、配置于第1空间(S1)且从z方向观察位于磁检测元件(MR1、MR2)之间的第1磁性体(31)以及配置于第2空间(S2)的第2磁性体(32)。从z方向看,磁检测元件(MR1)位于第1磁性体(31)和第2磁性体(32)的第1部分(32a)之间。从z方向看,磁检测元件(MR2)位于第1磁性体(31)和第2磁性体(32)的第2部分(32b)之间。根据本发明,由于第1磁性体集中的磁通被引到第2磁性体的第1部分和第2部分,所以能够使磁通更大地弯曲。由此,能够提高磁传感器的磁检测灵敏度。
技术领域
本发明涉及磁传感器,具体而言,涉及具备将磁通集中于磁检测元件的磁性体的磁传感器。
背景技术
使用了磁阻元件的磁传感器被广泛用于电流表、磁编码器等。在磁传感器中,设置有用于将磁通集中于磁检测元件的磁性体,在这种情况下,磁性体相对于磁检测元件偏移而配置(参照专利文献1和2)。由此,由于磁性体的作用,磁通的方向朝磁化固定方向弯曲,从而能够进行高灵敏度的检测。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特许第5500785号公报
专利文献2:日本特开2014-182096号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,在专利文献1和2中所记载的磁传感器中,由于仅仅是磁性体相对于磁检测元件偏移地配置,因此将磁通弯曲的能力不充分。
因此,本发明的目的在于提供一种通过使磁通更大地弯曲来提高磁检测灵敏度的磁传感器。
解决技术问题的手段
本发明的磁传感器,其特征在于,具备:多个磁检测元件,包括位于分离第1空间和第2空间的平面的至少第1磁检测元件和第2磁检测元件;第1磁性体,其配置于所述第1空间,从与所述平面交叉的第1方向观察位于所述第1磁检测元件和所述第2磁检测元件之间;以及第2磁性体,其配置于所述第2空间,且至少具有第1部分和第2部分,从所述第1方向观察,所述第1磁检测元件位于所述第1磁性体和所述第2磁性体的所述第1部分之间,从所述第1方向观察,所述第2磁检测元件位于所述第1磁性体和所述第2磁性体的所述第2部分之间。
根据本发明,由于第1磁性体集中的磁通被引到第2磁性体的第1部分和第2部分,所以能够使磁通更大地弯曲。因此,能够提高磁传感器的磁检测灵敏度。在此,优选第1磁性体和第2磁性体由软磁性材料构成。
在本发明中,优选所述第2磁性体还包括连接所述第1部分和所述第2部分的第3部分,并且所述第1部分和所述第2部分具有比所述第3部分更加向所述平面侧突出的形状。由此,使磁通进一步弯曲的力量变得更大,从而能够进一步提高磁传感器的磁检测灵敏度。
在这种情况下,优选所述第1部分和第2部分的端面位于所述平面附近。由此,磁通能更加锐角地弯曲,从而能够进一步提高磁传感器的磁检测灵敏度。
在本发明中,优选所述多个磁检测元件与所述平面平行,且将作为所述第1及所述第2磁检测元件的排列方向的第2方向作为磁化固定方向。由此,磁通向磁化固定方向有很大的弯曲,因此磁传感器的磁检测灵敏度提高了。
在这种情况下,优选与所述平面平行且与所述磁化固定方向交叉的第3方向上的所述第1磁性体的长度比所述第3方向上的所述多个磁检测元件的各自的长度都长。此外,在所述第3方向上的所述第2磁性体的长度也比所述第3方向上的所述多个磁检测元件的各自的长度更长。根据这些,可以在第3方向的较宽的区域中获得与磁化固定方向平行的磁场,从而能够进一步提高磁传感器的磁检测灵敏度。
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